三協インタナショナル株式会社白色光干渉計 IMS5400-TH

最終更新日：2021-06-21 11:00:15.0
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サブマイクロメートル精度で安定した厚み測定を行うための白色光干渉計です

距離変動や振動している計測対象のナノメートル精度の厚み測定
反射防止コーティングされたガラスも安定して計測可能
Webインターフェイスを介した容易な設定

基本情報白色光干渉計 IMS5400-TH

(仕様)
レンジ : 0.035～1.4mm ※ただし、センサから45mm±3.5mmの範囲にターゲットがあること
出力 : アナログ : 4-20 mA、0-10 V
デジタル : RS422/EtherCAT/Ethernet
分解能 : ＜1nm
精度 : < ±100 nm
応答性 : 100 Hz～6 kHz
温度 : 5～70 ℃
測定体 : 薄い層、ガラス、フィルムなど

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用途／実績例	距離変動や振動している計測対象のナノメートル精度の厚み測定反射防止コーティングされたガラスも安定して計測可能