【導入事例】半導体製造装置部品へのアルミナ溶射アイ・シイ・エス

【絶縁性向上】半導体製造装置部品へアルミナ溶射

【効果】絶縁性、耐プラズマ性向上のアルミナ溶射技術

【課題】
半導体製造装置部品において、静電気障害を防止する解決策としてアルミナ溶射技術が利用されてきたが、高純度被膜である事、及び短納期対応が課題であった。

【解決策】
当社のアルミナ溶射により高純度被膜を生成、短納期にも対応しました。

【当社の売り】
当社のプラズマ溶射設備は、単発品や試作品への対応を得意としております。

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基本情報【導入事例】半導体製造装置部品へのアルミナ溶射

半導体製造装置部品へのアルミナ
（Al203 99.9％）溶射

目的：絶縁性、耐プラズマ性の向上

膜種：アルミナ溶射Al203（99.9％）
膜厚：50~500μm
対応基材：Al、石英、SUSなど

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用途／実績例	半導体製造装置部品へのアルミナ（Al203　99.9％）溶射により絶縁性、耐プラズマ性の向上

カタログ【導入事例】半導体製造装置部品へのアルミナ溶射

取扱企業【導入事例】半導体製造装置部品へのアルミナ溶射

株式会社アイ・シイ・エス

モノづくりに欠かせない３つの金属加工事業 ■熱処理事業加工後の脆くなった金属の内部組織を本来の状態に整えます。＞真空熱処理　無酸化で熱処理を行うことで寸法変化が少なく、金属表面をキレイに仕上げます。 □得られる効果高強度化、高硬度化、応力除去、磁気特性の調整等＞ろう付けろう材を使って金属同士を接合させます。熱処理と同時処理が可能 □得られる効果中空部品の接合、異種金属の接合等 ■コーティング事業金属表面に硬質セラミック薄膜を生成し、高機能を付与します。 □得られる効果耐摩耗性、摺動性、耐久性、耐疑着性等 ■溶射事業金属表面に溶融噴射し、高品質の被膜を形成します。 □得られる効果耐摩耗性、断熱被膜、耐高温酸化、耐食等