半導体生産に貢献する切削用樹脂素材クレハエクストロン

半導体製造プロセスで多数採用されている2つのスーパーエンプラと、ESD対策材料をご紹介

半導体生産に貢献する3つの切削用樹脂素材をご紹介します。

＜『PPS』＞
■耐薬品性や耐熱性に優れ、厚肉一体加工が可能なグレードもあり
■半導体製造プロセスにおける洗浄工程で採用多数
■難燃剤を使用しない場合でもUL94 V-0相当の難燃性

＜『PPS-TUBE』＞
■耐摩耗性が高く、CMPプロセスなどに好適
■耐薬品性、寸法安定性、低溶出性に優れる
■精密めっきの分野で豊富な実績あり

＜ESD対策材料『クレファイン』＞
■表面抵抗値を静電気拡散領域内で安定的にコントロール
■ESD（静電気放電）によるアクシデントを防止
■板材、コンパウンド、切削加工品・射出成形品の提供が可能

※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

基本情報半導体生産に貢献する切削用樹脂素材

【採用事例】
＜『PPS』＞
・ケミカルポンプ用バルブ、継手
・半導体、FPD洗浄工程部品

＜『PPS-TUBE』＞
・CMP工程用リテーナーリング
・フープめっき用マスク

＜ESD対策材料『クレファイン』＞
◎コンパウンド品
・HDD部品搬送用トレイ
・ウエハーロードポート、スピンチャック
・バーンイン＆テストソケット
◎切削加工品・射出成形品
・ICテストソケット、FPD搬送ローラー
・ESD対策ピンセット半導体部品輸送ケース

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