ガラス基板を基盤収納棚(ワイヤーカセット)へ自動で収納
昇降機能とコンベヤ搬送でガラス基板をワイヤーカセットへ収納・搬出する装置です。
ワイヤーカセットはストッカーシステムにて交換されます。
■基板サイズ実績:G4.5 ~ G8
基本情報基盤の払出に『カセットチェンジャー』
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