石製真空吸着テーブル関ケ原製作所

グライナイトを使用した真空吸着テーブル

当社は、薄くて軽いワークを高精度な平面度の面に吸着することで、
ひずみなくワークを固定することでき、精密な塗布プロセス・検査
及び各種加工が行える『石製真空吸着テーブル』をご提供しております。

表面を荒くしてガラス基板剥離時の帯電を抑え、ガラス状に形成している
トランジスタなどの静電破壊を防止します。

また当社では、通常のラップ面仕上げRa0.8に対し、平面精度を
維持したまま面粗し、仕上げRa0.5程度まで対応することが可能です。

【特長】
■天然石のため、経年変化がほとんど生じない
■熱伝導率が小さく温度変化の影響を受けにくく、平面精度が維持される
■傷がついても”かえり”が無いため、平面精度が維持される
■腐食が無く、クリーンでメンテナンスフリー
■ワークがガラス基板の場合、静電気の発生を抑えられる

※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。

関連リンク - https://www.sekigahara.co.jp/service/precision-eqp…

基本情報石製真空吸着テーブル

【製品タイプ】
■溝タイプ
　・最小0.2mmまでの直線・曲線（サイズに制限有）の溝加工が可能
　・穴タイプより安価
■穴タイプ
　・最小Φ0.3mmまで穴加工が可能
　・変形しやすい薄いワークに適している

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