株式会社ハイブリッジ 高真空加熱マイクロプローバ『HMP-100』【最大500℃対応】
- 最終更新日:2023-07-13 10:32:12.0
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高真空仕様の加熱マイクロプローバ!加熱温度は最大500℃で、10mm形状の サンプル加熱に対応します!
『HMP-100』は、排気系により<10^-4Paでの使用が可能な高真空仕様の
加熱マイクロプローバです。加熱温度は最大500℃で、10mm形状の
サンプル加熱に対応します。TRIAXコネクタを採用することにより
1pA以下の電気測定が可能です。
【特長】
■高真空仕様
排気系により<10^-4Paでの使用可能
■加熱温度
最大500℃対応
10mm形状のサンプル加熱対応
■低電流測定
TRIAXコネクタを採用することにより1pA以下の電気測定が可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報高真空加熱マイクロプローバ『HMP-100』【最大500℃対応】
【仕様(抜粋)】
<試料評価室>
■真空チャンバ:φ114×h84mm SUS304/内面#400/外面#400+電解研磨
■フランジ:コンフラット規格
■ベーキング:150℃対応
<測定部>
■プローブ数:4探針プローブ/タングステン針
■測定最少電流:1pA以下(常温)
■対向プローブ間距離:417mm
<加熱機構部>
■加熱温度:最大500℃
■加熱機構制御:DC電源外部制御式PIDコントローラ
■温度センサ:K熱電対
<装置本体>
■装置架台
・ゴム足付きベースプレート 310×310×25hmm(ゴム足含む)
・プローバステージ用フレーム:アルミフレーム構造
■主排気用バルブ:ICF70手動アングルバルブ+ICF70/NW25変換ニップル
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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