日本コベッタ株式会社 半導体材料の金属除去はお任せ! 半導体薬液用メタル除去フィルター

【脱メタル】フォトケミカルの安定性に配慮!様々な要求レベルの金属低減を実現!キレートタイプや非イオン交換型Purifierを追加

イオン交換型Purifierにおける薬液精製では酸の発生によるリスクが懸念として残っていました。これらは化学増幅型レジストの品質を劣化させるリスクのある問題点です。

第1弾として液-液交換による金属除去メカニズムを持つNylon基膜に官能基を修飾したNylonpolarを発表しましたが、第二弾としてキレート構造による金属除去とイオン交換による発生した酸を即座に除去する機構を持つ金属除去Purifierを開発、上梓しました。

Cobetterでは、メタル除去に関する幅広いソリューションをユーザー様に提供すべく、新たな視点での金属除去機構を兼ね備えたPurifierを引き続き開発していきます。

メタル低減がうまく達成できない、イオン交換による酸発生の悪影響で薬液安定性に対する懸念が払拭できないなど、薬液精製に新しいソリューションを適用されたい方は必見です。

全ての金属に万能な金属除去性能を発揮するPurifierを探すことは至難の業ですが、ソリューションの引き出しを多く持っておくことを強く推奨いたします。

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報半導体材料の金属除去はお任せ! 半導体薬液用メタル除去フィルター

【SEMICON Japan出展のご案内】
■日程 2022年12月14日(水) ~ 2022年12月16日(金)
■時間 10:00 ~ 17:00
■小間番号 2930
■会場 東京ビッグサイト 東展示棟

【金属除去Purifierラインナップ】
■IonGardシリーズ(MGA, MGD, MGS, IXE)
■Nylonpolar Purifier(2S, 2D)
■Chemdeion Purifier(CHP)
■IonGard Chelate Purifier(MGC) 【NEW】
■IonGard DC Purifier(MGS2M) 【NEW】

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格情報 ※お気軽にお問い合わせ下さい。
納期 お問い合わせください
※製品によって納期変動しますが、通常2ヶ月以内
型番・ブランド名 ■IonGardシリーズ ■Nylonpolar/Purifier■Chemdeion Purifier
用途/実績例 ■IonGardシリーズ
 純水、強アルカリ、強酸
■Nylonpolar/Purifier
 有機溶剤、フォトレジスト
■Chemdeion Purifier

カタログ半導体材料の金属除去はお任せ! 半導体薬液用メタル除去フィルター

取扱企業半導体材料の金属除去はお任せ! 半導体薬液用メタル除去フィルター

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■ろ過設備の販売 ■受託分析及び試験の業務 ■フィルター輸入販売 ■人材紹介及び派遣の業務 ■素材及び設備の輸出業務 ■技術コンサルタント業務

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