公転式スピンドライヤー
公転式スピンドライヤー http://www.ipros.jp/data/products/tmp/201449/002/img/HP用.jpg 回転による遠心力と吸引される気流の作用により、ウエハ上の水滴及び水分を乾燥させる装置です。 自動バランス修正装置の追加によりウエハセット枚数に関わらず安定した回転を実現。 大宮工業 株式会社 営業本部営業課 製造・加工機械 > 半導体製造装置 > その他半導体製造装置 OKHシリーズ -
  • 安全でクリーンな乾燥を実現!スピンドライヤー
    大宮工業 株式会社
    ●発塵要因を徹底的に排除
    ●安全でクリーンな短時間乾燥を実現
    ●弊社独自のバランシングテクノロジーが静かな回転性能を実現
    ●イオナイザー、ULPAフィルターを標準装備
    ●オプションとして、自動バランス修正機構・ウエハ割れ検出装置を御用意
    ●シリコンウエハ以外のスピンドライヤーも対応可能です。ご相談ください。
  • 公転式スピンドライヤーの製品画像です
    公転式スピンドライヤーの製品画像です

基本情報公転式スピンドライヤー

回転による遠心力と吸引される気流の作用により、ウエハ上の水滴及び水分を乾燥させる装置です。
自動バランス修正装置の追加によりウエハセット枚数に関わらず安定した回転を実現。

価格

-

価格帯

納期

発売日

取扱い中

型番・ブランド名

OKHシリーズ

用途/実績例

■ウエハ乾燥用途
■ウエハ以外のスピンドライヤーも対応可能

よく使用される業種

電子部品・半導体

カタログ公転式スピンドライヤー

  • 回転による遠心力と吸引される気流の作用により、ウエハ上の水滴及び水分を乾燥させる装置です。
    自動バランス修正装置の追加によりウエハセット枚数に関わらず安定した回転を実現。

取扱会社公転式スピンドライヤー

精密測定機器、半導体及び液晶製造関連装置の製造・販売及び回転機器メンテナンス

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