テープ剥がし機大宮工業 | イプロスものづくり

基本情報テープ剥がし機

テープ剥がし機は、ウエハー上に貼られた保護フィルムを剥離する装置です。カセットで供給されたウエハーをアライナーで位置決めし、テープ剥離後同一カセットに排出します。

■薄厚ワーク対応■
独自の剥離機構と全面吸着テーブルの採用によりウエハへのストレスを最小限に抑え、薄ウエハにも対応可能。
■リトライ機能■
離動作後、センサーにより剥離確認を行います。NGの場合再び剥離動作に入り、剥がし残しを防ぎます。（回数設定可）
■アライメント機能■
剥離前にアライメントテーブルにて、オリフラ・ノッチの角度位置合せとセンタリングを行い、位置ズレによる剥離不良を防ぎます。
■タクト調整機能■
テープ剥離速度、搬送速度等をタッチパネルにて設定可能。ワークにあわせた調整が可能です。
■テープ空検知■
剥離用テープの残量をセンサで検知。残量が5ｍ（設定変更可）になるとアラームで通知。無駄な装置停止をなくします。
■静電気対策■
イオナイザー（静電気除去器）を標準装備。

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用途／実績例	バックグラインド後のバックグラインド（ＢＧ）テープ、その他保護テープの剥離。