大宮工業株式会社 設計・製作

設計・製作

お客様のニーズに合わせた製品をご提案、設計・製作いたします。

基本情報設計・製作

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用途/実績例 製作実績
・厚み測定機(非接触式)…非接触レーザーセンサによる厚み測定治具。
・ウエハ真空貼付器…ウエハとウエハ、ウエハと基板など硬質のワーク同士を気泡無く貼合わせる治具。
・CMPヘッド測定機…CMPヘッドの日常検査を非接触レーザーセンサを用いて容易に行う事が出来る治具。
 研磨ヘッドキャリア部、並びにメンブレンアセンブリの平面度を、変位センサを用いて測定します。
・吸着冶具…ウエハ等のワークを全面にて吸着保持する治具。
・排気トラップ…各種装置から排気されるガス反応生成物(粉体)を吸着捕集するための装置。
・オリフラ合せ器…プロセス投入前処理であるオリフラ合せを行う自動/手動機。

取扱企業設計・製作

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大宮工業株式会社 営業本部営業課

■精密測定機器、半導体及び液晶製造関連装置の製造・販売及び  回転機器メンテナンス

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