設計・製作
お客様のニーズに合わせた製品をご提案、設計・製作いたします。
基本情報設計・製作
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価格情報 | - |
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納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | 製作実績 ・厚み測定機(非接触式)…非接触レーザーセンサによる厚み測定治具。 ・ウエハ真空貼付器…ウエハとウエハ、ウエハと基板など硬質のワーク同士を気泡無く貼合わせる治具。 ・CMPヘッド測定機…CMPヘッドの日常検査を非接触レーザーセンサを用いて容易に行う事が出来る治具。 研磨ヘッドキャリア部、並びにメンブレンアセンブリの平面度を、変位センサを用いて測定します。 ・吸着冶具…ウエハ等のワークを全面にて吸着保持する治具。 ・排気トラップ…各種装置から排気されるガス反応生成物(粉体)を吸着捕集するための装置。 ・オリフラ合せ器…プロセス投入前処理であるオリフラ合せを行う自動/手動機。 |
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