常圧プラズマ式排ガス処理装置【難分解性のPFCガスも処理可能!】
常圧プラズマ式排ガス処理装置【難分解性のPFCガスも処理可能!】 http://www.ipros.jp/public/product/image/b00/205776001/IPROS6167521876701334145.gif 【特徴】 ○既存の除害装置では、処理が困難であったCF4ガス、SF6ガス等のPFCガスに対応 ○ランニングコストを最小限に抑えながら、除害処理能力を最大限に引き出した、最新鋭の装置 ○特許出願中のプラズマバーナ方式で安定したプラズマを供給 ○従来の常識を打ち破る省スペースを実現 ○シンプルな構造で、高いメンテナンス性能 ○バーナ式やヒータ式に比べて約1/5の用力費削減 ○ユニットは4chでバックアップを確保 【仕様】 ○リアクタ数:1~4 ○寸法(mm):730(W)×800(D)×1600(H) ○概算重量(kg):400~520 ○用力 給水(L/min):1~4 - 4~16 ○用力 電力:3Φ200V(MAX17kVA)~3Φ200V(MAX38kVA) ○フランジロ径:処理ガス・入口・出口ともにC-PVC NW40 ○処理ガス:CF4、SF6、C2F6、C3F8(NF3等) ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。 クリーン・テクノロジー株式会社 制御・電機機器 > 環境機器 > ガス回収/処理装置 サンダー
  • 難分解性のPFCガスも処理可能!バーナー・ヒータ式に比べて消費電力20%削減
    クリーン・テクノロジー株式会社
    従来の処理装置では難しかったCF4ガスやSF6ガスなどのPFCガスも処理できる排ガス処理装置です。新技術のプラズマバーナー方式でバーナー・ヒータ方式に比べて消費電力を20%削減。

    ランニングコストを最小限にしながら除害能力を最大限まで高めました。
    また、プラズマリアクタと水スクラバを1つのユニットにして省スペース化を実現。
    小型で幅広いガスに対応した排ガス処理装置です。

    詳細はカタログをダウンロードして下さい。
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基本情報常圧プラズマ式排ガス処理装置【難分解性のPFCガスも処理可能!】

【特徴】
○既存の除害装置では、処理が困難であったCF4ガス、SF6ガス等のPFCガスに対応
○ランニングコストを最小限に抑えながら、除害処理能力を最大限に引き出した、最新鋭の装置
○特許出願中のプラズマバーナ方式で安定したプラズマを供給
○従来の常識を打ち破る省スペースを実現
○シンプルな構造で、高いメンテナンス性能
○バーナ式やヒータ式に比べて約1/5の用力費削減
○ユニットは4chでバックアップを確保

【仕様】
○リアクタ数:1~4
○寸法(mm):730(W)×800(D)×1600(H)
○概算重量(kg):400~520
○用力 給水(L/min):1~4 - 4~16
○用力 電力:3Φ200V(MAX17kVA)~3Φ200V(MAX38kVA)
○フランジロ径:処理ガス・入口・出口ともにC-PVC NW40
○処理ガス:CF4、SF6、C2F6、C3F8(NF3等)

●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

価格

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価格帯

納期


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発売日

取扱い中

型番・ブランド名

サンダー

用途/実績例

【用途】
○OXIDE-ETCHやLP・PE-CVD等で使用されるプロセスガスとPFCガス(CF4・SF6等)の処理

●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

よく使用される業種

化学、樹脂・プラスチック、鉄/非鉄金属、産業用機械、民生用電気機器、産業用電気機器、電子部品・半導体、自動車・輸送機器、試験・分析・測定、IT・情報通信、ソフトウェア、医薬品・バイオ、建築・土木・エンジニアリング、製造・加工受託、医療・福祉、教育・研究機関、官公庁、サービス業

カタログ常圧プラズマ式排ガス処理装置【難分解性のPFCガスも処理可能!】

  • 独自開発のロングアークプラズマを利用した常圧プラズマ式排ガス処理装置

    【特徴】
    ■省スペース
     プラズマリアクタと水スクラバを一つのユニットに収めることで
     950(W)×900(D)×1800(H)の省スペースを実現
     さらに、筐体内に最大2リアクタまで搭載可能
    ■ロングアークプラズマによる処理
     独自開発の空間内に発生させたロングアークプラズマによりガスの直接処理を行う
     トーチタイプのような添加ガスを必要とせず、用力費用を低く抑えることが可能
     1リアクタあたり300L/minまで処理が可能
    ■メンテナンス特性
     リアクタは着脱式で簡単に取り付け取外しを行うことができ
     メンテナンス時間を大幅に削減することが可能
    ■省エネルギー
     処理対象ガスの有無によりプラズマをON/OFFさせることが可能
    ■ダウンタイムの削減を実現
     装置内にバックアップ機能を設けることができるため
     万が一のトラブル時もダウンタイムを削減することが可能

    □その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

取扱会社常圧プラズマ式排ガス処理装置【難分解性のPFCガスも処理可能!】

大気汚染防止装置、水質汚染防止装置、廃棄物処理装置、 騒音防止装置、振動防止装置、半導体製造装置、 半導体試験装置の製造及び販売 上記に付帯する一切の業務

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