抵抗率／シート抵抗測定器【WS-3000】
ナプソン株式会社は、半導体ウエハやFPD基板の各種測定システムを開発・製造・販売しております。
抵抗率/シート抵抗に関するあらゆるニーズにお応えし、仕様設計からアフターケアまで、最新の技術と豊富な経験を活かして、高精度・高性能なシステムをご提供いたします。
その他製品ございますので、詳細はお問い合わせ下さい。
基本情報抵抗率／シート抵抗測定器【WS-3000】
【半導体プロセス評価用に最適な自動薄膜シート抵抗測定器】
◆４種類のプローブヘッドを装着可能なロータリー機能のため、測定サンプル毎のプローブ交換作業が不要
◆デュアルモードにより、エッジ１mmまで高精度に測定
◆高速測定による優れたコストメリット
◆薄膜３nmの測定実績
◆FOUP標準装備（オプション：SMIF/AM3000）、GEM/SECS対応
（※）その他詳細についてはお問い合わせ下さい。
| 価格情報 | - |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | WS-3000 |
| 用途／実績例 | 半導体プロセス膜（エピタキシャル、拡散、イオン注入、ポリシリコン）、メタル膜、シリコンウエハ |
カタログ抵抗率／シート抵抗測定器【WS-3000】
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