センサテクノス株式会社 熱流束マイクロセンサー

独自の技術により化学蒸着させた薄膜ディバイス

表面温度を測定する測温抵抗体(RTS)と、熱流束を測定する熱流センサーとを窒化アルミ基板上に、独自の技術により化学蒸着させた薄膜ディバイス。

基本情報熱流束マイクロセンサー

【概要】
HFM : 熱流束マイクロセンサーは、表面温度を測定する測温抵抗体(RTS)と、
熱流束を測定する熱流センサーとを窒化アルミ基板上に、独自の技術により
化学蒸着させた薄膜ディバイスです。この熱流センサーは差動型サーモパイルで、
高精度に高密度に配置された上下ペアーの熱電対と熱抵抗層からなる三層の
複合パターンで構成されています。
熱がHFMの表面に流入/流出すると、各熱電対ペアーが挟んでいる熱抵抗層に
温度差が生じ、流入/流出している熱量に 比例した電圧が発生します。

【特徴】
・最高速の応答(約 6μ秒)
・外部冷却不要で 850℃まで稼動
・低雑音
・従来の薄膜センサーの10倍高感度
・センサー表面の熱流束と温度を測定
・伝導、対流、輻射に等感度

□その他機能や詳細については、お問い合わせ下さい

価格情報 ******
詳細はお問合せください。
納期 お問い合わせください
用途/実績例 【アプリケーションの例】
・エンジン内壁の熱伝達状態観察
・ロケットエンジンのトラバース実験
・タービンブレード熱風洞試験
・自動車用エアーバッグ安全性試験
・ジェットエンジンのバックファイヤー試験

取扱企業熱流束マイクロセンサー

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センサテクノス株式会社

超音波機器、圧力センサー、熱流束センサー、整流素子/整流器、柔軟ワイヤー等の輸入販売

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