センサテクノス株式会社 熱流束マイクロセンサー
- 最終更新日:2015-03-30 10:40:56.0
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独自の技術により化学蒸着させた薄膜ディバイス
表面温度を測定する測温抵抗体(RTS)と、熱流束を測定する熱流センサーとを窒化アルミ基板上に、独自の技術により化学蒸着させた薄膜ディバイス。
基本情報熱流束マイクロセンサー
【概要】
HFM : 熱流束マイクロセンサーは、表面温度を測定する測温抵抗体(RTS)と、
熱流束を測定する熱流センサーとを窒化アルミ基板上に、独自の技術により
化学蒸着させた薄膜ディバイスです。この熱流センサーは差動型サーモパイルで、
高精度に高密度に配置された上下ペアーの熱電対と熱抵抗層からなる三層の
複合パターンで構成されています。
熱がHFMの表面に流入/流出すると、各熱電対ペアーが挟んでいる熱抵抗層に
温度差が生じ、流入/流出している熱量に 比例した電圧が発生します。
【特徴】
・最高速の応答(約 6μ秒)
・外部冷却不要で 850℃まで稼動
・低雑音
・従来の薄膜センサーの10倍高感度
・センサー表面の熱流束と温度を測定
・伝導、対流、輻射に等感度
□その他機能や詳細については、お問い合わせ下さい
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納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | 【アプリケーションの例】 ・エンジン内壁の熱伝達状態観察 ・ロケットエンジンのトラバース実験 ・タービンブレード熱風洞試験 ・自動車用エアーバッグ安全性試験 ・ジェットエンジンのバックファイヤー試験 |
取扱企業熱流束マイクロセンサー
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