株式会社ASICON 超微細加工LIGAプロセスによるメタルパーツ，ポリマーパーツ

最終更新日：2021-03-23 13:39:21.0
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アスペクト比100も可能。高精度･高アスペクト比のマイクロパーツ，サブマイクロパーツを提供。X線光学分野の応用多数。

LIGAプロセスは，高アスペクト比を持つ微細構造製造のための複合プロセスです。
X線リソグラフィと電鋳により，金属やポリマーの微細構造体を高精度，高アスペクト比(100程度)，滑らかな側壁(<50 nm)，自由な横方向形状を持つメタル構造，レジスト構造を実現します。

応用例
･タルボ干渉計向けのX線回折格子 (日本を含め世界各国の研究所，産業界に導入)
･X線集光レンズ (放射光施設向け，単色光の集光レンズ)
･マイクロギア
･ハニカムメッシュ構造
･微細貫通孔構造 (X線を始めとしたビームのアパーチャとして使用)

関連リンク - https://www.asicon-tokyo.com/imt02.php

基本情報超微細加工LIGAプロセスによるメタルパーツ，ポリマーパーツ

LIGAプロセスの概要を紹介します。一連のプロセスによる製品提供の他にも，部分的な技術導入の相談も承っております。

LIGAプロセス工程:
1. X線マスクの作製
電子ビームまたはレーザーリソグラフィによる高精度のX線マスクを作製します。

2. レジストのX線リソグラフィ (Lithographie)
基板上のフォトレジストにX線マスクの構造を転写します。
放射光の高品質なX線によって，高アスペクト比(100程度)，滑らかな側壁(<50 nm)，自由な横方向形状を持つレジスト構造が実現します。
例: X線集光レンズ

3. 電鋳 (Galvanoformung)
X線リソグラフィによって形成された微細構造を持つレジストに，電鋳(高精度のめっき)を施します。これにより，高アスペクト比の金属構造体が実現できます。下記に掲載している金属の微細構造は，ここまでの工程で作製されます。
例: X線回折格子，マイクロギア

4. ポリマーの成型 (Abformung)
電鋳で作製した金型を用い，ホットエンボスや射出成型によって，ポリマー製の微細構造を複製します。

価格情報	-
納期	お問い合わせください
型番・ブランド名	カールスルーエ技術研究所(KIT) / microworks GmbH LIGAプロセス
用途／実績例	※具体例，写真等は下記当社サイトのリンクを御覧ください。 ■ 高アスペクト比メタル構造例: X線回折格子 (X-ray gratings for Talbot interferometry) X線の吸収像，微分位想像，暗視野像が撮像できるタルボ干渉計，タルボ･ロー干渉計用の回折格子。高アスペクト比(例: 金の厚さ250 µm，線幅2.4 µm)の吸収格子，短周期の位相格子等を実現。 ■ 微細貫通孔(X線アパーチャ。基板無し) (a) マルチホール例 / X線マルチコリメータ厚さ80 µmの金のメンブレン上に直径3 µmの高アスペクト円形貫通孔を規則的に多数配列。X線マルチコリメータや，微細加工装置の組み込みパーツとして使用。 (b) シングルホール例 / X線アパーチャ厚さ200 µmの金のメンブレンの中心に，直径5 µmの高アスペクト円形貫通孔を一つ形成。放射光施設のX線アパーチャとして使用。 ■ 金のハニカムメッシュ構造 6角形構造の内側にさらに6角形構造が形成された構造。金の構造幅は約0.4 µm，高さは4 µm。

詳細情報超微細加工LIGAプロセスによるメタルパーツ，ポリマーパーツ

: ■ 金のハニカムメッシュ構造
(本体) 500倍拡大のSEM画像: 6角形構造の内側にさらに6角形構造が形成されている。
(左上) 15,000倍拡大のSEM画像。金の構造幅は約0.4 µm，高さは4 µm。

: ■ 金のチェッカーボード構造
周期35µm (メタル/スペース = 17.5 µm : 17.5 µm)，金の厚さは160 µm
アスペクト比: 約9

: ■ 微細貫通孔(X線アパーチャ。基板無し)
(a) マルチホール例 / X線マルチコリメータ
厚さ80 µmの金のメンブレン上に直径3 µmの高アスペクト円形貫通孔を規則的に多数配列。X線マルチコリメータや，微細加工装置の組み込みパーツとして使用。

(b) シングルホール例 / X線アパーチャ
厚さ200 µmの金のメンブレンの中心に，直径5 µmの高アスペクト円形貫通孔を一つ形成。放射光施設のX線アパーチャとして使用。

カタログ超微細加工LIGAプロセスによるメタルパーツ，ポリマーパーツ

取扱企業超微細加工LIGAプロセスによるメタルパーツ，ポリマーパーツ

株式会社ASICON

【X線光学: Talbot-Lau干渉計キット】/【マイクロ流体: チップと送液装置】微細加工技術に基づいた，ライフサイエンス向けの製品を販売しています。X線光学ではX線マイクロビームを形成する集光レンズや，X線位相像，X線小角散乱をX線透過像に加えて撮像できるタルボ･ロー干渉計のキットを提供しています。マイクロ流体分野では，マイクロ流体チップ(マイクロ流路を持つポリマー製のチップ)と，高精度な送液装置(ポンプ類)を御紹介しています。X線光学，マイクロ流体のいずれの分野でも，カタログ製品とカスタマイズサービスを取り揃えています。