プランゼージャパン株式会社 タングステン・モリブデン製 スパッタリングターゲット
- 最終更新日:2016-01-26 12:57:44.0
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世界最高品質のタングステン・モリブデン スパッタリングターゲット
プランゼー独自のパウダーメタラジー(粉末冶金法)により、タングステン・モリブデンの純度、結晶構造、密度、ターゲットの形状を最適化し、冷却用支材とのボンディングまで、様々な要望に対応します。開発から量産にいたるまで、幅広くサポート致します。
基本情報タングステン・モリブデン製 スパッタリングターゲット
プランゼーは、最高品質のモリブデン・タングステンコーティング材料であるターゲット製品を、世界中のお客様へ納品しています。
スパッタリングは、真空チャンバー内に充填されたアルゴンガスが、プラズマによりイオン化され、そのアルゴンイオンが電界によって負電圧を加えられたターゲット(カソード)に向かい加速、衝突します。その際の強い運動エネルギーにより、ターゲット材の原子がアルゴンイオンによりはじき出され、薄膜として基板に形成されます。 この特性からスパッタリングターゲットには安定的な最高品質が結晶構造レベルで要求されます。プランゼーは90年に及ぶ粉末冶金技術と、最新の製造機器・品質管理体制により、世界最高品質のスパッタリングターゲットを製造し、世界中のお客様へお届けしています。
●業界最大の生産設備により、世界最大のタングステン・モリブデン スパッタリングターゲットの製造が可能です。
●ボンディング工場を日本国内に持ち、様々なご要求に柔軟に対応します。
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用途/実績例 | 【製品例】 ●高融点金属(Mo, W, Ta, Nb, Crやその他合金) ●アルミニウム合金(TiAl, AlCr その他各種組成) ●セラミック( WCやその他複合材) 1970年代半ばよりナノ単位での薄膜構造がマイクロエレクトロニクス、ディスプレイテクノロジー、磁気・光学データ保存、建築・自動車用ガラスといった各種産業分野において採用され、90年代初頭からはハードコーティング、トライボコーティング、及び装飾コーティングへの応用も行われてきました。 |
カタログタングステン・モリブデン製 スパッタリングターゲット
取扱企業タングステン・モリブデン製 スパッタリングターゲット
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