反り・曲がりウエハ非接触搬送装置
反り・曲がりウエハ非接触搬送装置 http://www.ipros.jp/data/products/tmp/002519/033/img/002519033.image_data.jpg GaAsウエハ、極薄ウエハなどの反りのあるウエハを非接触にて搬送します。「反りのウエハ非接触搬送装置」は、気体を噴出することによりウエハを非接触にて懸垂保持します。本装置は、新しく開発した気体噴出ノズル、排出部(Pat.Pend.)を採用し反りにあるウエハに非接触搬送を可能にしました。 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所 製造・加工機械 > 半導体製造装置 > その他半導体製造装置 反りウエハ非接触搬送装置SAS型 -

基本情報反り・曲がりウエハ非接触搬送装置

GaAsウエハ、極薄ウエハなどの反りのあるウエハを非接触にて搬送します。「反りのウエハ非接触搬送装置」は、気体を噴出することによりウエハを非接触にて懸垂保持します。本装置は、新しく開発した気体噴出ノズル、排出部(Pat.Pend.)を採用し反りにあるウエハに非接触搬送を可能にしました。

価格

-

価格帯

納期

1週間以内

発売日

取扱い中

型番・ブランド名

反りウエハ非接触搬送装置SAS型

用途/実績例

  GaAsウエハ、極薄ウエハなどの反りのあるウエハを非接触にて搬送します。
「反りのウエハ非接触搬送装置」は、気体を噴出することによりウエハを非接触にて懸垂保持します。本装置は、新しく開発した気体噴出ノズル、排出部(Pat.Pend.)を採用し反りにあるウエハに非接触搬送を可能にしました。

よく使用される業種

電子部品・半導体

取扱会社反り・曲がりウエハ非接触搬送装置

非接触搬送装置「フロートチャック」(特許自社開発)を用いたウエハ、液晶ガラス、PDP、セラミック、プリント基板、FPC基板、紙、布等の非接触搬送装置および応用装置の製作。

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