- 反り・曲がりウエハ非接触搬送装置
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- 最終更新日：2004-11-30 14:58:48.0
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- 反っているウエハ・撓んでいるウエハを非接触にて搬送するロボットハンド
- 有限会社ソーラーリサーチ研究所
- ◎特長
１．反りウエハを非接触にて把持、搬送
２．ウエハに損傷を与えない
３．汚れを付けない
◎ 適応
１．反りのあるウエハ
２．GaSaウエハ
３．極薄ウエハ
４．表面処理ウエハ
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- 反り・曲がりウエハ非接触搬送装置の製品画像です
基本情報反り・曲がりウエハ非接触搬送装置
ＧａＡｓウエハ、極薄ウエハなどの反りのあるウエハを非接触にて搬送します。「反りのウエハ非接触搬送装置」は、気体を噴出することによりウエハを非接触にて懸垂保持します。本装置は、新しく開発した気体噴出ノズル、排出部（Pat.Pend．）を採用し反りにあるウエハに非接触搬送を可能にしました。
価格 |
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価格帯 |
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納期 |
1週間以内 |
発売日 |
取扱い中 |
型番・ブランド名 |
反りウエハ非接触搬送装置ＳＡＳ型 |
用途／実績例 |
ＧａＡｓウエハ、極薄ウエハなどの反りのあるウエハを非接触にて搬送します。 「反りのウエハ非接触搬送装置」は、気体を噴出することによりウエハを非接触にて懸垂保持します。本装置は、新しく開発した気体噴出ノズル、排出部（Pat.Pend．）を採用し反りにあるウエハに非接触搬送を可能にしました。 |
よく使用される業種 |
電子部品・半導体 |
取扱会社反り・曲がりウエハ非接触搬送装置
非接触搬送装置「フロートチャック」（特許自社開発）を用いたウエハ、液晶ガラス、ＰＤＰ、セラミック、プリント基板、ＦＰＣ基板、紙、布等の非接触搬送装置および応用装置の製作。
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