大型ガラス基板非接触搬送装置
大型ガラス基板非接触搬送装置 http://www.ipros.jp/data/products/tmp/002519/041/img/ガラス基板F型.jpg 気体を噴出することによりワークを非接触にて懸垂保持し搬送する非接触搬送装置。気体噴出機構に新機構を採用しており、空気噴出口は噴出角度をワークに対して小さな角度を持たせている。気流の壁面接触による摩擦損失により生じる気流速度の減速が無い。負圧発生量は増加し、負荷発生効率は向上する。従来技術に比し格段に懸垂能力が増加し、気体消費量がほぼ半減している。そのため空気消費量の問題で採用をひかえていた負荷の大きいワーク、特にLCD用第8世代大型ガラス基板(2200mmx2200mm)およびPDP大型ガラス基板 (2000mmx2000mm)の非接触搬送用に採用されている。 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所 製造・加工機械 > 半導体製造装置 > その他半導体製造装置 大型ガラス基板非接触搬送装置SA−C型 -
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    有限会社ソーラーリサーチ研究所
    気体を噴出することによりワークを非接触にて懸垂保持し搬送する非接触搬送装置。気体噴出機構に新機構を採用しており、空気噴出口は噴出角度をワークに対して小さな角度を持たせている。気流の壁面接触による摩擦損失により生じる気流速度の減速が無い。負圧発生量は増加し、負荷発生効率は向上する。従来技術に比し格段に懸垂能力が増加し、気体消費量がほぼ半減している。そのため空気消費量の問題で採用をひかえていた負荷の大きいワーク、特にLCD用第8世代大型ガラス基板(2200mmx2200mm)およびPDP大型ガラス基板 (2000mmx2000mm)の非接触搬送用に採用されている。
  • 大型ガラス基板非接触搬送装置の製品画像です
    大型ガラス基板非接触搬送装置の製品画像です

基本情報大型ガラス基板非接触搬送装置

気体を噴出することによりワークを非接触にて懸垂保持し搬送する非接触搬送装置。気体噴出機構に新機構を採用しており、空気噴出口は噴出角度をワークに対して小さな角度を持たせている。気流の壁面接触による摩擦損失により生じる気流速度の減速が無い。負圧発生量は増加し、負荷発生効率は向上する。従来技術に比し格段に懸垂能力が増加し、気体消費量がほぼ半減している。そのため空気消費量の問題で採用をひかえていた負荷の大きいワーク、特にLCD用第8世代大型ガラス基板(2200mmx2200mm)およびPDP大型ガラス基板 (2000mmx2000mm)の非接触搬送用に採用されている。

価格

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価格帯

納期

発売日

取扱い中

型番・ブランド名

大型ガラス基板非接触搬送装置SA−C型

用途/実績例

第8世代ガラス基板2200mmx2200mmの非接触搬送

よく使用される業種

電子部品・半導体

取扱会社大型ガラス基板非接触搬送装置

非接触搬送装置「フロートチャック」(特許自社開発)を用いたウエハ、液晶ガラス、PDP、セラミック、プリント基板、FPC基板、紙、布等の非接触搬送装置および応用装置の製作。

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