超高真空中で試料表面に微量の金属または有機物を蒸着できる多元蒸着源です。オプションでシャッターや膜厚測定機能を追加できます。
<特長>
・コンパクトかつコストパフォーマンスに優れたルツボ式3元または4元蒸着源
・多元高温用エバポレーター (温度範囲700°C～1700°C）UE-103C/104Cシリーズと多元エバポレーター (温度範囲150°C～800°C) UE-203C/204Cシリーズの2機種をラインナップ
・シャッター追加、膜厚測定機能 (オプション)
<用途>
超高真空中でターゲット試料表面へ微量な金属または有機物の蒸着
基本情報超高真空エバポレーター UEシリーズ
<仕様>UEシリーズ共通：
加熱方式 ：フィラメント通電加熱方式
ルツボ容積 ：内径2.6×深さ6 mm (充填量はルツボ容積の1/2以下を推奨)
ルツボ数 ：シャッター機能なし: 4個
：シャッター機能あり: 3個
※ルツボ交換はエバポレーター本体の引き取り、分解、交換、再組み立て (有償作業) が必要
取付けフランジ ：ICF70
ターゲットまでの距離：ルツボヘッド先端から100mm以上
(標準蒸着源サイズでは取付けフランジから200mm以上推奨)
取付け方向 ：水平面から30°以上上向きに取付けが必要
（オプション）
シャッター ：回転導入機による手動開閉
膜厚計 ：シャッター板のルツボ側面に設置
| 価格情報 | - |
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| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | UEシリーズ |
| 用途／実績例 | ■ 金属用高温エバポレーター （ＭＥ−１０３Ｃ／１０４Ｃシリーズ） 本体金属用高温蒸着に特化したエバポレーター。 最高１７００℃までの多元蒸着が可能です。 ■ 有機分子用エバポレーター （ＭＥ−２０３Ｃ／２０４Ｃシリーズ） 本体８００℃以下で使用可能な真空蒸着用エバポレーター。 有機分子等の多元蒸着に最適 です。 |
取扱企業超高真空エバポレーター UEシリーズ
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1970年代ユニソクは最も高速性能(dead time:1msec)のストップトフロー装置を完成。マルチチャンネル分光測定装置を国内で最初に実用化し現在ではさらに高速な反応測定を実現。1983年には大気中トンネル顕微鏡を国内初の実用し半導体素子,磁気,光ディスクの研究分野で活躍。物理,化学,生物の広い分野へと開発を続け超高真空トンネル顕微鏡,走査型近接場光学顕微鏡,超高真空原子間力顕微鏡、極低温強磁場プローブ顕微鏡等を製品化し更なる研究分野に普及。また多数の研究者との共同研究を通じて応用研究を推進しています。特に超高真空走査型トンネル顕微鏡関連の製品では、業界一位の納入実績を達成しています。 また、極限環境下(超高真空、極低温、強磁場中)で観測可能な自社製走査型プローブ顕微鏡をはじめ、SPMの応用製品として開発した4プローブ電気特性測定装置等の最新の製品群を開発し、各種の基礎研究と応用研究に役立つ研究手段を提供しております。
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