シグマテック株式会社 5nmフィードバックステージ FS-1050SPX/XY

5nmフィードバックステージ FS-1050SPX/XY http://www.ipros.jp/data/products/tmp/002617/045/img/Sigmatech_FS-1050SPXY.jpg より扱い安く、そしてフィードバック可能なステージです。 最小分解能:5nm 最大移動速度:5mm/sec(FC-611使用時) ストローク:50mm テーブルサイズ:□120mm 対応コントローラ:FC-611 ■□■詳細は資料請求またはカタログをダウンロードして下さい■□■ シグマテック株式会社 制御・電機機器 > FA機器 > その他FA機器 FS-1050SPX / FS-1050SPXY -
【精密位置決め装置】5nmの高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の位置保持性が高い位置決めステージ!

光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。

『 5nm 』分解能(*1)でストロークは『 50mm 』となっております。

自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。

(*1)フィードバックステージコントローラFC-611との組み合わせ

基本情報5nmフィードバックステージ FS-1050SPX/XY

より扱い安く、そしてフィードバック可能なステージです。

最小分解能:5nm
最大移動速度:5mm/sec(FC-611使用時)
ストローク:50mm
テーブルサイズ:□120mm
対応コントローラ:FC-611

■□■詳細は資料請求またはカタログをダウンロードして下さい■□■

価格 -
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発売日 取扱い中
型番・ブランド名 FS-1050SPX / FS-1050SPXY
用途/実績例 フィードバックステージシステムは近年様々な分野で使用されています。

代表的な使用分野は情報通信関連・光関連・半導体関連・バイオ関連などになります。

例)MEMSの検査時の位置決め
  光学系のディレイステージ
  顕微鏡ステージ

カタログ5nmフィードバックステージ FS-1050SPX/XY

取扱企業5nmフィードバックステージ FS-1050SPX/XY

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精密位置検出器の開発、製造、販売 精密位置決め機器の開発、製造、販売 特注ステージシステム製品の設計、製造、販売 特注ステージ周辺治具の設計、製造、販売 前略号に付随する一切の業務

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