株式会社ハイテック・システムズ サーマル式ALD原子層堆積装置
- 最終更新日：2022-12-28 17:48:31.0
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ハイテックシステムズは、ALD（Atomic Layer Deposition）装置の世界的リーディングカンパニー、Veeco/CNT社の販売代理店です。
Veeco/CNT社は米国Veeco社のALD（Atomic Layer Deposition）事業部門で 先端のALD（原子層堆積）技術開発を行い、世界の研究機関、大学、企業にて最も使われている開発用、量産試作用、ALD装置のメーカーです。量産用ALD装置、大面積基板ALD装置についても市場にて実績があり、ご要望に対応しております。
基本情報サーマル式ALD原子層堆積装置
ALD原子層堆積装置の世界的リーディングカンパニー、Veeco/CNT社の製品と技術導入をハイテックシステムズがサポートします！
●高精度
デジタル制御により一層づつ堆積 精密な厚さを実現
エクスポージャーモードの使用により超高アスペクト比構造体への成膜が可能
●低価格
導入を容易にするコストパーフォーマンス
ALD Vapor Trapを装備。反応室の残存プリカーサーを膜付けし、クリーンな排気。
●使いやすい
新たなオプションが加わり、さらに多彩な成膜が可能
LVPD（低蒸気圧プリカーサー供給）システム
SAMｓ（自己組織化単分子膜）
その場計測（エリプソ、QCM）
●LavVIEWを使用した分かりやすい操作システム、標準的レシピの提供
本ALD装置の詳細については、お気軽にご相談下さい。
| 価格情報 | - |
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| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | サーマル式ALD装置 Savannah G2 |
| 用途／実績例 | ALD装置は、欠陥が無く優れた保護特性を備えた薄膜を形成する技術として半導体、フラットパネルディスプレイ（FPD）、MEMS、照明、医療など幅広い分野に貢献します。 |
カタログサーマル式ALD原子層堆積装置
取扱企業サーマル式ALD原子層堆積装置
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中古 半導体製造装置/FPD製造装置の買取及び販売 中古部品と補器の買取及び販売 半導体/FPD生産ラインの移設とリファービッシュ 新規 海外製先端デバイス製造装置/研究開発装置の販売及びサポート ・Veeco ・PLASMIONIQUE ・scia Systems ・NEOCERA ・ANNEALSYS ・JIACO ・SENTECH
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