三明電子産業株式会社 立体レジスト塗布/現象、複合装置 DC120

立体レジスト塗布/現象、複合装置 DC120

MEMSデバイス、各種半導体研究用に開発されたスプレーコーターです。

【特徴】
○レジスト塗布作業と現像作業を、1台で行う事が可能。
○スプレー塗布、現像液塗布等の工程を、プログラムにより自由に組み込み可能。
○ノズルを2個装備。塗布する液体も2種類の設定可能。
○塗布作業から現像作業に移行するには、塗布台の交換、薬液交換、フィルター部取り外し等作業が必要ですが、最小限の作業になります。
○スプレー装置は弊社で実績のある「スプレーコーター DC110」を踏襲。
○現像液などの回収も、下部のパンより回収可能。
○制御用コントローラは弊社で実績のある「Cuty-Pair」を使用。サーボモータも弊社製品「Si-Servo」を使用。
○特殊仕様承ります。

●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。

基本情報立体レジスト塗布/現象、複合装置 DC120

MEMSデバイス、各種半導体研究用に開発されたスプレーコーターです。

【特徴】
○レジスト塗布作業と現像作業を、1台で行う事が可能。
○スプレー塗布、現像液塗布等の工程を、プログラムにより自由に組み込み可能。
○ノズルを2個装備。塗布する液体も2種類の設定可能。
○塗布作業から現像作業に移行するには、塗布台の交換、薬液交換、フィルター部取り外し等作業が必要ですが、最小限の作業になります。
○スプレー装置は弊社で実績のある「スプレーコーター DC110」を踏襲。
○現像液などの回収も、下部のパンより回収可能。
○制御用コントローラは弊社で実績のある「Cuty-Pair」を使用。サーボモータも弊社製品「Si-Servo」を使用。
○特殊仕様承ります。

●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。

価格情報 -
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用途/実績例 MEMSデバイス
ビア
トレンチ埋め込み等塗布、現像

取扱企業立体レジスト塗布/現象、複合装置 DC120

三明電子産業株式会社

メカトロニクス制御システム・FAシステムの開発・設計・製造 モーション自動制御装置・産業機械用NC装置の開発・設計・製造 ナノ微細加工制御・研究装置の開発・設計・製造 パラレルロボット/ピッキングミニロボの開発・設計・製造 板金・塗装加工設計・製造

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