ハイソル株式会社 高速熱処理装置(RTP/RTA) AccuThermoシリーズ

高速熱処理装置(RTP/RTA装置) AccuThermo シリーズ

LED,VCSEL等の化合物半導体や、太陽電池
セルの高速熱処理に最適な、デスクトップ型の最新型高速熱処理装置

【特徴】
○強力な可視光線により、2インチ〜8インチまでのシングルウェハを
 短時間かつ正確にコントロールされた温度で加熱処理
○優れた加熱均一性
○高度な温度制御
○広域レンジパイロメータ(ERP)による高精度温度計測(オプション)
○パイロメータまたは熱電対温度センサーによる
 クローズドループ温度コントロール
○温度制御範囲+100℃ 〜 +1,250℃
○高速加熱100℃/sec,高速冷却100℃/sec
○高いウェハ間プロセス再現性
○特定のプロセス条件に対応した温度−時間プロファイル
○省スペースかつ、高いエネルギー効率

●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。

基本情報高速熱処理装置(RTP/RTA) AccuThermoシリーズ

LED,VCSEL等の化合物半導体や、太陽電池
セルの高速熱処理に最適な、デスクトップ型の最新型高速熱処理装置

【特徴】
○強力な可視光線により、2インチ〜8インチまでのシングルウェハを
 短時間かつ正確にコントロールされた温度で加熱処理
○優れた加熱均一性
○高度な温度制御
○広域レンジパイロメータ(ERP)による高精度温度計測(オプション)
○パイロメータまたは熱電対温度センサーによる
 クローズドループ温度コントロール
○温度制御範囲+100℃ 〜 +1,250℃
○高速加熱100℃/sec,高速冷却100℃/sec
○高いウェハ間プロセス再現性
○特定のプロセス条件に対応した温度−時間プロファイル
○省スペースかつ、高いエネルギー効率

●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。

価格情報 -
納期 お問い合わせください
型番・ブランド名 AccuThermo シリーズ
用途/実績例 【用途】
○化合物半導体
○太陽電池
○MEMS
○ナノテクノロジー

取扱企業高速熱処理装置(RTP/RTA) AccuThermoシリーズ

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ハイソル株式会社

半導体製造装置(ボンダー)を輸入して50年以上。現在はプローバーやFCBボンダーも自社開発を行い大学、研究所へ納入しており、最先端の開発・研究及びカスタマーニーズにお答えしております。

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