高速熱処理装置(RTP/RTA装置) AccuThermo シリーズ
LED,VCSEL等の化合物半導体や、太陽電池
セルの高速熱処理に最適な、デスクトップ型の最新型高速熱処理装置
【特徴】
○強力な可視光線により、2インチ〜8インチまでのシングルウェハを
短時間かつ正確にコントロールされた温度で加熱処理
○優れた加熱均一性
○高度な温度制御
○広域レンジパイロメータ(ERP)による高精度温度計測(オプション)
○パイロメータまたは熱電対温度センサーによる
クローズドループ温度コントロール
○温度制御範囲+100℃ 〜 +1,250℃
○高速加熱100℃/sec,高速冷却100℃/sec
○高いウェハ間プロセス再現性
○特定のプロセス条件に対応した温度−時間プロファイル
○省スペースかつ、高いエネルギー効率
●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。
基本情報高速熱処理装置(RTP/RTA) AccuThermoシリーズ
LED,VCSEL等の化合物半導体や、太陽電池
セルの高速熱処理に最適な、デスクトップ型の最新型高速熱処理装置
【特徴】
○強力な可視光線により、2インチ〜8インチまでのシングルウェハを
短時間かつ正確にコントロールされた温度で加熱処理
○優れた加熱均一性
○高度な温度制御
○広域レンジパイロメータ(ERP)による高精度温度計測(オプション)
○パイロメータまたは熱電対温度センサーによる
クローズドループ温度コントロール
○温度制御範囲+100℃ 〜 +1,250℃
○高速加熱100℃/sec,高速冷却100℃/sec
○高いウェハ間プロセス再現性
○特定のプロセス条件に対応した温度−時間プロファイル
○省スペースかつ、高いエネルギー効率
●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。
価格情報 | - |
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納期 | お問い合わせください |
型番・ブランド名 | AccuThermo シリーズ |
用途/実績例 | 【用途】 ○化合物半導体 ○太陽電池 ○MEMS ○ナノテクノロジー |
取扱企業高速熱処理装置(RTP/RTA) AccuThermoシリーズ
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