集積化ガスシステム対応ガスフィルターピー・ジェイ

高濾過精度

半導体製造ガスラインなどに用いられる（株）ピュアロンジャパン製集積化ガスシステム対応ガスフィルターです。

基本情報集積化ガスシステム対応ガスフィルター

【特徴】
○高濾過精度で定評のあるセラミックスエレメントタイプ（0.003μm）と、メタルエレメントタイプ（0.003μm）があります。
○Cシール/H1Gシール/Wシールに対応しています。（Cシール/Wシールは1.125インチタイプも対応しています）
○数LPMの少流量から120LPMまでの大流量タイプをラインナップしています。

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型番・ブランド名	FI/SIシリーズ
用途／実績例	半導体製造ガスライン、ガスキャビネット、半導体製造装置など