株式会社ピー・ジェイ腐蝕性特殊ガス対策用ハステロイC-22ハウジング製

最終更新日：2012-06-20 10:02:32.0
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ハロゲン系反応性腐蝕性特殊ガスに対し、耐蝕性が非常に高く極めて優れた性能を発揮いたします。

半導体製造ガスラインなどに用いられる（株）ピュアロンジャパン製セラミックガスフィルターです。
フィルター構成部材には、フィルターハウジングにハステロイC-22を、そしてフィルターエレメントにはセラミックスを使用しております。これら全ての部材は、HBr、HClなどのハロゲン系反応性腐蝕性特殊ガスに対し、耐蝕性が非常に高く極めて優れた性能を発揮いたします。

基本情報腐蝕性特殊ガス対策用ハステロイC-22ハウジング製

【特徴】
○濾過精度は0.003μｍです。
○推奨流量は40〜200L/minです。
○設計圧力は17MPa（2,465PSIG）at20℃です。

●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

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型番・ブランド名	UCHシリーズ
用途／実績例	用途・実績例半導体製造ガスライン、ガスキャビネット、半導体製造装置など