腐蝕性特殊ガス対策用ハステロイ圧力センサーピー・ジェイ

腐蝕性特殊ガス対策用圧力センサーＰＣ-６０１シリーズ

半導体製造ガスラインなどに用いられる(株)ピュアロンジャパン製圧力センサーです。
半導体デバイスの製造プロセスにおきましては、HBr、HCl等のハロゲン系反応性、腐蝕性特殊ガスが多く使用されております。これらの腐蝕性ガスは、ガス供給配管系に使用される圧力センサー・ガスフィルター等に使用されておりますステンレス鋼材の内表面に吸着したわずかな水分とも反応し、腐蝕生成物を形成します。この生成物は、パーティクルを発生させ、半導体プロセス汚染の原因となっております。ピュアロンでは、このような腐蝕性特殊ガスに対し、ステンレス鋼材ＳＵＳ３１６Ｌをはるかにしのぐ耐蝕性を有するハステロイを使用した腐蝕性特殊ガス対策用圧力センサーＰＣ-６０１シリーズを開発致しました。

基本情報腐蝕性特殊ガス対策用ハステロイ圧力センサー

【特徴】
○高耐蝕性です。
○高精度・高信頼性です。
○広い測定範囲です。

●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

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型番・ブランド名	PC-601シリーズ
用途／実績例	半導体製造ガスライン、ガスキャビネット、半導体製造装置など