高濾過精度オールメタルガスフィルターピー・ジェイ

コンパクトサイズでより高流量のガスを処理

(株)ピュアロンジャパン製ガスフィルターです。
全ての材質にＳＵＳ３１６Ｌを使用。高流量・高差圧下においても０.００３μｍ以上の粒子を高い効率で除去致します。従来品と比較し圧力損失が極めて低く、コンパクトサイズでより高流量のガスを処理できます。１０Ｌ/ｍｉｎ程度の少流量から２５０Ｌ/ｍｉｎ程度の中流量までの幅広いラインナップをご用意しております。

基本情報高濾過精度オールメタルガスフィルター

【特徴】
○濾過精度は０.００３μｍです。
○推奨流量は１５〜２５０Ｌ/ｍｉｎ各種です。
○設計圧力は１７ＭＰａ（２,４６５ＰＳＩＧ）ａｔ２０℃です。
○最大許容差圧は１５ＭＰａ（２,１７５ＰＳＩＧ）ａｔ２０℃です。
○最高許容温度は４６０℃です。

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型番・ブランド名	ＵＣＳ−Ｍシリーズ
用途／実績例	半導体製造ガスライン、ガスキャビネット、半導体製造装置など