ハステロイオールメタルガスフィルターピー・ジェイ

全ての材質にハステロイを使用

(株)ピュアロンジャパン製ガスフィルターです。
高流量・高差圧下においても０.００３μｍ以上の粒子を高い効率で除去します。１０Ｌ/ｍｉｎ程度の少流量から２５０Ｌ/ｍｉｎ程度の中流量まで幅広いラインナップをご用意しております。従来のメタルフィルターと比較して圧力損失が極めて低く、コンパクトサイズでより高流量のガスを処理できます。

基本情報ハステロイオールメタルガスフィルター

【特徴】
○濾過精度は０.００３μｍです。
○推奨流量は１５〜２５０Ｌ/ｍｉｎ各種です。
○設計圧力は１７ＭＰａ(２,４６５ＰＳＩＧ）ａｔ２０℃です。
○最高使用温度は４６０℃(不活性ガス)です。

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型番・ブランド名	UCH-Mシリーズ
用途／実績例	半導体製造ガスライン、ガスキャビネット、半導体製造装置など