超高純度ガス小型精製器ピー・ジェイ

腐蝕によるパーティクルの発生や化学反応を起こしません。

(株)ピュアロンジャパン製ガス精製器です。
ユースポイントにおいて、不活性ガスや特殊ガス中に含まれる水分・酸素・ハイドロカーボンなどの不純物を、条件により最大１ＰＰＢ以下まで除去します。内蔵の粗取り用フィルターメディアには全てＳＵＳ３１６Ｌを標準として使用しております。面間８４ｍｍ、１２０ｇの小型・軽量タイプもございます。ガス種により３５０℃から４００℃のベーキングによって再活性処理をすれば、完全寿命まで繰り返しご使用いただけます。

基本情報超高純度ガス小型精製器

【特徴】
○精製能力は個々の不純物—最大１ＰＰＢ以下、出口側不純物合計—最大１０ＰＰＢ以下です。(条件によります)
○流量範囲は０.５〜２０ＬＰＭです。（モデル・圧力条件により異なります)
○最高使用圧力は０.９７ＭＰａです。(１４０.６５ＰＳＩＧ)

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納期	お問い合わせください ※お気軽にお問い合わせください。
型番・ブランド名	ＧＰ/ＧＰＦシリーズ
用途／実績例	半導体製造ガスライン、ガスキャビネット、半導体製造装置など