大気圧から高真空までの広帯域の計測をこの1台で！センサー・回路部・ディスプレイ一体型の真空計
クリスタルゲージとコールドカソードゲージを組み合わせ、広帯域の計測を1台でカバーする複合型真空計です。
大気圧から高真空まで、切り替え操作なしで計測でき、取り付け寸法の省スペース化が行えます。
構造の単純化により、センサークリーニング、センサー交換をお客様自身で行っていただく事ができ、生産復帰までの時間短縮を可能にしました！
【特長】
■広い測定範囲を実現（10＾5Pa ～ 10＾-7Pa）
■真空計設置スペースを節減
■低真空部はクリスタルゲージの採用により大気圧検出、低真空側での抜群の安定性を実現
■高真空部は耐久性の高い新しい構造のCCGを採用
■イージーメンテナンス
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報真空計『コンビネーションゲージ CC-10（NW25）』
【その他特長】
■大気圧から低真空領域のクリスタルゲージ部は、水晶振動子と気体分子の摩擦によるインピーダンスの変化を読み取ることにより、真空計測を行っています。 精度・再現性に優れており、信頼性の高い計測が可能です。
■高真空領域のコールドカソードゲージ部は、マグネトロン放電により残留ガスをイオン化し、圧力を測定します。
コールドカソードゲージはホットカソードゲージと異なり、フィラメントを持たず、丈夫で信頼性の高い計測が行えます。
※CC-10はRoHS指令に準拠した環境に優しい製品です。
| 価格情報 | NW25接続：定価 236、000（税抜き） |
|---|---|
| 価格帯 | 10万円 ~ 50万円 |
| 納期 | ~ 1ヶ月 |
| 型番・ブランド名 | CC-10-NW25 |
| 用途／実績例 | 【用途】 ■真空蒸着装置 ■光学薄膜生成装置 ■加速器とUHV研究 ■電子デバイス製造装置 ■光電子工学のデバイス製造装置 など |
ラインナップ
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| CC-10-ICF70 | ICF70のフランジを使用しているため、高真空まで引きたい方に好適！ |
カタログ真空計『コンビネーションゲージ CC-10（NW25）』
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