マイクロ真空計東京電子 | イプロスものづくり

高真空の計測が可能なマイクロ真空計

新技術を利用し、熱伝導方式のマイクロ真空計ではこれまで困難だった高真空の計測を実現。
数百ミクロン角の大きさで、ピラニ真空計の測定範囲をカバー。

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基本情報マイクロ真空計

MEMS技術加工により、シリコン基板から熱分離された薄膜と熱電対からなるマイクロサイズの熱電対真空計です。
構造を工夫することによって低圧側の測定幅を広げてあるのが特長です。
また、約0.8mm角のChipなので微小空間の圧力測定が可能です。

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用途／実績例	微笑空間の真空度測定真空封止を必要とするMEMSデバイスなどの信頼性評価

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取扱企業マイクロ真空計

東京電子株式会社

○自社ブランド真空計開発・設計・製造・コンビネーションゲージ　・ピラニゲージ　・コールドカソードゲージ　・ホットカソードゲージ ○他社ブランド真空計開発・設計・製造・コンビネーションゲージ　・ピラニゲージ　・コールドカソードゲージ　・ホットカソードゲージ　・その他 ○加速器向け製品・各種真空計　・真空ポンプ用電源　・真空排気装置 ○電子（応用）機器の受託設計・製造・各種制御機器