DP-FノンメタルDP- FE／Dシリーズ（外部電子制御タイプ）ヤマダコーポレーション

半導体産業用ダイヤフラムポンプ（外部電子制御タイプ）

DP-Fノンメタルシリーズ：半導体産業用　
電気切替DP- FE／Dシリーズ（外部電子制御タイプ）

【特徴】
■半導体プロセス対応モデル
■ポンプに光ファイバー式ストロークセンサーを
内蔵したノンメタル・防爆モデル
■ダイアフラムのストロークエンドを近接センサが検知、
センサー信号を受けたコントローラがセンターエキゾースト型の
3ポジション5ポート電磁弁を制御することにより往復運動を行う
■作動が確実で低ストローク時でも安定した性能を発揮

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基本情報DP-FノンメタルDP- FE／Dシリーズ（外部電子制御タイプ）

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型番・ブランド名	DP- FE／Dシリーズ
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カタログDP-FノンメタルDP- FE／Dシリーズ（外部電子制御タイプ）

株式会社ヤマダコーポレーション『会社案内』

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取扱企業DP-FノンメタルDP- FE／Dシリーズ（外部電子制御タイプ）

株式会社ヤマダコーポレーション

●空圧式、油圧式、電気駆動、その他の各種ポンプ及びこれらの関連機器類の製造、販売（ダイアフラムポンプ・ピストンポンプ等） ●気体、流体、粉体、粒体等の汲み出し、圧送、噴霧、吸引用各種ポンプ及びこれらの関連機器類の製造、販売 ●計量器及び電気式計測機器の製造、販売 ●各種洗浄機器の製造、販売 ●流体素子、流体式制御機器の製造、販売 ●自動車整備用機器及び排気・排煙浄化装置の製造、輸入並びに販売 ●医療用機器の製造、輸入並びに販売 ●前各号にかかわる機器類の据付、保守及び構築物の設計、施工の請負 ●前各号に付帯又は関連する一切の業務及び投資 etc