株式会社マイクロフェーズ 卓上カーボンナノチューブ合成装置

基本情報卓上カーボンナノチューブ合成装置

主にエタノールを炭素原料として用いた簡易型カーボンナノチューブ合成装置

◆特徴◆
・各種基板（シリコン・石英・チタン・ステンレス・セラミックス他）に
　垂直配向したカーボンナノチューブが成膜できる
・全プロセスは２０分程度
◆オプション
　ＣＶＤ原料導入用　ＳＵＳチャンバー （液体燃料導入ポート・
　炭化水素ガス導入ポート・還元ガス導入ポート・予備ポート）
　追加電源セット（電源・ヒーターユニット）
　放射温度計
　各種安全機構

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取扱企業卓上カーボンナノチューブ合成装置

株式会社マイクロフェーズ

◆ナノ成膜装置＝　CNT合成装置、　グラフェン成膜装置、　回転CVD炉、　ロータリキルンCVD装置、　負極材表面へのカーボンコートCVD装置、　ナノ粒子成膜装置、　真空蒸着装置など ◆ナノ材料＝　垂直配向CNT、　CNT分散液、CNT樹脂複合材料、　伸び～るCNTゴムシート、　CNT黒体、　CNT熱伝導シート、　酸化チタン／炭化チタンナノチューブなど

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