結晶欠陥測定装置 (光散乱断層撮影式)
結晶欠陥測定装置 (光散乱断層撮影式) http://www.ipros.jp/data/products/tmp/297634/009/img/LST_R.jpg LSTは、CCDカメラを使用し、切断されたウェハーサンプル断面の結晶欠陥を測定します。 日本セミラボ株式会社 新横浜本社 製造・加工機械 > 半導体製造装置 > 半導体検査/試験装置 LST -

基本情報結晶欠陥測定装置 (光散乱断層撮影式)

LSTは、CCDカメラを使用し、切断されたウェハーサンプル断面の結晶欠陥を測定します。

価格

-

価格帯

納期

発売日

取扱い中

型番・ブランド名

LST

用途/実績例

- ひとつのイメージからのDZ鑑定
- 高速なウェハー断面に沿った濃度分布測定
- 深さ方向分解能: 0.5μm
- 表面から深さ0.5μm以内のパーティクル検知が可能
- 全自動操作(ウェハー搬送含む)
- 測定可能最大ウェハーサイズ: 12インチ
- 全ウェハー断面直径スキャン
- イメージサイズ: 400μm x 2mm (測定時間: 40秒)
- 測定面(断面)オートフォーカス

よく使用される業種

樹脂・プラスチック、電子部品・半導体、試験・分析・測定、製造・加工受託、商社・卸売り、教育・研究機関

取扱会社結晶欠陥測定装置 (光散乱断層撮影式)

■半導体測定装置の輸入販売及び技術サービスの提供 ■太陽電池測定装置の輸入販売及び技術サービスの提供

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