日本セミラボ株式会社 光学式細孔率・細孔分布測定装置
- 最終更新日：2020-07-17 08:56:06.0
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世界唯一の分光エリプソメーター技術でのEP(光学式ポロシメーター）細孔率・細孔分布測定装置
■ 前処理が必要がなく、 20分/ポイントと従来型に比べて高速に測定が可能です。
基本情報光学式細孔率・細孔分布測定装置
【アプリケーション】
・Low-k膜の細孔率測定
・色素増感太陽電池のTiO2細孔率測定
・細孔サイズ（0.5~65nm)、厚さ（50nm～５um)のサンプル
【特徴】
・膜厚、屈折率、表面積、浸透率、ヤング率、CTE計測も測定可能
・従来の方式に比べ、短時間での測定が可能（２０分/point)
【仕様】
・測定可能細孔サイズ（直径）；0.5~65nm
・スポットサイズ；1.2*0.8mm
・測定サンプル構成：単層／多層ともに測定可
・サンプルサイズ：2~300ｍｍ(フィルム厚さ：50nm~5μm)
・測定時間；20分／point
・溶媒：IPA（イソプロパノール）、メタノール、トルエン、水
| 価格情報 | - |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | EP (光学式ポロシメーター) |
| 用途／実績例 | - Low-K膜の細孔率測定 - 色素増感太陽電池のTiO2 細孔率測定 |
取扱企業光学式細孔率・細孔分布測定装置
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■半導体測定装置の輸入販売及び技術サービスの提供 ■下記製品の取り扱いをしています。 分光エリプソメーター 非接触シート抵抗測定装置 DLTS測定システム ナノインデンター AFM（原子間力顕微鏡） キャリア移動度測定装置 非接触CV測定装置 ライフタイム測定装置 フォトルミネッセンス 装置仕様や価格情報などお気軽にお問い合わせください。
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