8インチウェハ対応タイプ
再現性、安全性に非常に優れた水銀プローブ方式を用いたCV／IV測定システムです。
Si、化合物、SOI、SiC、バルクウェハといった様々なタイプのウェハ特性を測定できます。
ユーザが最大４９箇所の測定サイトを指定し、C-V、I-V特性、TDDB、Vbd、Qbdの酸化膜破壊評価、Dit、ドーピング濃度、酸化膜厚、Low-ｋ、High-k等のマッピング測定が可能なトータルシステムです。
基本情報8インチウェハ対応タイプ CVmap92 A/B
【特徴】
○２点からのプローブ方式を用いたC-V、I-V測定器（Ａタイプ）
○３点からのプロービングを可能とし、この複合測定は擬似MOSFET状態を実現し、インシュレータ層の界面トラップ密度など､Top-Si層を除去することなしに測定可能
○ウェハサイズは１～８インチまで対応し、最大４９サイトまでのマッピング測定が可能
○TDDB、界面トラップ密度、ピンホール密度、キャリア濃度などの様々な評価ができる
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| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ウェハーの検査 |
カタログ8インチウェハ対応タイプ CVmap92 A/B
取扱企業8インチウェハ対応タイプ CVmap92 A/B
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半導体、有機ＥＬ、液晶、太陽電池、燃料電池用検査装置、精密機器部品用ピンセット・工具の販売
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