北野精機株式会社 セミ・マニピュレーターKSM-152-50Z/KSM-152-150Z

セミ・マニピュレーターKSM-152-50Z/KSM-152-150Z http://www.ipros.jp/data/products/tmp/303876/001/img/KSM-70-50Z2.jpg ●KSM-152-50Z 移動距離・Z軸 0〜50mm X軸 ±12.5mm Y軸 ±12.5mm ●KSM-152-150Z 移動距離・Z軸 0〜150mm X軸 ±12.5mm Y軸 ±12.5mm ●共通仕様 許容リーク量 ≦1.33×10-11Pa・m3/sec 許容加熱温度 ≦200℃ 移動精度 XY軸 0.01mm以下 Z軸 0.05mm以下 位置決め目盛 Scale XY軸 0.001mm以下 Z軸 0.05mm以下 上部接続フランジ ICF-70FT 下部接続フランジ ICF-152FH 導入用ポート ICF34(6ヶ所) 真空シール稼働部 溶接ベローズSUS-316 重量 9.0kg(50Z)、9.0kg(150Z) 北野精機株式会社 測定・分析 > 分析機器 > 分析機器・装置 KSM-152-50Z 820,000円 KSM-152-150Z  1,000,000円
セミ・マニピュレーターKSM-152-50Z/KSM-152-150Z

1958年創業以来、真空装置・低温機器をはじめとして、多くの試作研究開発機器の設計・製造及び販売に従事してきました。
これまで多くのR&D機器の設計・開発に携わり、"極高真空技術""極低温技術""精密加工技術"等の融合技術とノウハウ、そして永年にわたる経験と実績が大学・官公庁及び民間企業の研究開発機関で活躍される多くの研究者から支持されております。
今後も、社員一同、"御客様の成功と発展を願い御客様の為に進化する"ことをモットーとし、社会の発展に貢献すべく、研究者の方々のよきパートナーとして一層の努力を重ね、信頼と実績を着実に積み重ねて22世紀へ歩んで参りたいと願っております。なにとぞ、ご愛顧ご支援を賜りますよう、よろしくお願い申しあげます。

基本情報セミ・マニピュレーターKSM-152-50Z/KSM-152-150Z

●KSM-152-50Z
移動距離・Z軸 0〜50mm
X軸 ±12.5mm
Y軸 ±12.5mm
●KSM-152-150Z
移動距離・Z軸 0〜150mm
X軸 ±12.5mm
Y軸 ±12.5mm
●共通仕様
許容リーク量 ≦1.33×10-11Pa・m3/sec
許容加熱温度 ≦200℃
移動精度 XY軸 0.01mm以下 Z軸 0.05mm以下
位置決め目盛
Scale XY軸 0.001mm以下 Z軸 0.05mm以下
上部接続フランジ ICF-70FT
下部接続フランジ ICF-152FH
導入用ポート ICF34(6ヶ所)
真空シール稼働部 溶接ベローズSUS-316
重量 9.0kg(50Z)、9.0kg(150Z)

価格 KSM-152-50Z 820,000円
KSM-152-150Z  1,000,000円
価格帯 50万円以上 100万円未満
納期 お問い合わせください
用途/実績例 ・ユーザーの自由な用途・目的に対応できるよう
 XYZ機構を本体としています。
・蒸着装置・MBE装置等での、超高真空中における
 試料の移動・位置決めが、大気側から操作できます。
・各種オプションの活用により、XYZ方向移動の他、
 回転・面内回転・加熱・冷却機構が可能になります。
・内部には電解研磨処理を施し、超高真空領域まで対応します。
・KSM-152は接続フランジ上にある
 6ヶ所のICF-34のポートからフィードスルー等の導入が可能です。
・ベローに工夫を加え、XY軸運動に柔軟性をもたらしました。
・XY軸の位置決めは、マイクロメーターヘッドにより操作します。
 Z軸の移動距離は御客様の仕様に合わせて製作することも可能です。

カタログセミ・マニピュレーターKSM-152-50Z/KSM-152-150Z

取扱企業セミ・マニピュレーターKSM-152-50Z/KSM-152-150Z

北野精機2.jpg

北野精機株式会社

最先端技術の研究開発用精密機器の設計、開発、製造、販売。 ◆真空装置の機器・部品 ◆低温機器類の装置・部品 ◆科学機器 ◆精密部品 これらの設計開発、製作、販売及び引渡し後の保守、修理、改造、移設 【 製品一例 】 ◆真空チャンバー ◆真空部品(フランジ・継手類、他)   《PVD/CVD装置》 ◆有機EL材料開発用蒸着装置・機器 ◆有機TFT開発用蒸着装置・機器 ◆有機薄膜太陽電池用蒸着装置・機器 ◆有機・金属蒸着セル ◆分子線エピタキシー装置(MBE)  (化合物半導体・窒化物・酸化物) ◆有機金属気相成長装置(CVD) 《表面分析・評価装置》 ◆電界イオン顕微鏡装置(FIM) ◆電子エネルギー分析システム(CMA) ◆TEMホルダー(加熱/低温) ◆UHVレーザー顕微鏡装置 ◆3次元アトムプローブ装置(3DAP)

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