『KSM-114-50Z/150Z』は、X軸・Y軸の動作に柔軟性を持たせ、
超高真空領域まで使用出来るセミ・マニピュレーターです。
Z軸には側面に目盛りスケールを設置している為、精度を要する移動や
微調整などに使用出来ます。
本体正面のチルトネジを用いる事で、最大2°までの簡易的な
チルト機構としても使用可能。
蒸着装置、MBE装置等、超高真空領域内での試料等の移動・位置決め操作が
大気側より行えます。
【特長】
■超高真空領域まで使用出来る
■X、Y軸の駆動部にはマイクロメーターヘッドを使用
■1回転当たりの移動量は各々0.5mm
■接続フランジがICF-152のタイプの場合、接続フランジ上部に設置された
6ヶ所の導入ポート(ICF-34FT接続)よりフィールドスルー等の導入が可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報セミ・マニピュレーター『KSM-114-50Z/150Z』
【仕様(抜粋)】
<KSM-114-50Z>
■移動距離
・Z軸:0~50mm
・X軸:±12.5mm
・Y軸:±12.5mm
<KSM-114-150Z>
■移動距離
・Z軸:0~150mm
・X軸:±12.5mm
・Y軸:±12.5mm
<共通仕様>
■許容リーク量:≦1.33×10-11Pa・m3/sec
■許容加熱温度:≦200℃
■移動精度:XY軸 0.01mm以下
■位置決め目盛:XY軸 0.001mm以下
■上部接続フランジ:ICF-70FT
■下部接続フランジ:ICF-114FH
■真空シール稼働部:溶接ベローズSUS-316
■重量:9.0kg(50Z)、9.0kg(150Z)
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価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログセミ・マニピュレーター『KSM-114-50Z/150Z』
取扱企業セミ・マニピュレーター『KSM-114-50Z/150Z』
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最先端技術の研究開発用精密機器の設計、開発、製造、販売。 ◆真空装置の機器・部品 ◆低温機器類の装置・部品 ◆科学機器 ◆精密部品 これらの設計開発、製作、販売及び引渡し後の保守、修理、改造、移設 【 製品一例 】 ◆真空チャンバー ◆真空部品(フランジ・継手類、他) 《PVD/CVD装置》 ◆有機EL材料開発用蒸着装置・機器 ◆有機TFT開発用蒸着装置・機器 ◆有機薄膜太陽電池用蒸着装置・機器 ◆有機・金属蒸着セル ◆分子線エピタキシー装置(MBE) (化合物半導体・窒化物・酸化物) ◆有機金属気相成長装置(CVD) 《表面分析・評価装置》 ◆電界イオン顕微鏡装置(FIM) ◆電子エネルギー分析システム(CMA) ◆TEMホルダー(加熱/低温) ◆UHVレーザー顕微鏡装置 ◆3次元アトムプローブ装置(3DAP)
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