『KSM-114-50Z/150Z』は、X軸・Y軸の動作に柔軟性を持たせ、
超高真空領域まで使用出来るセミ・マニピュレーターです。
Z軸には側面に目盛りスケールを設置している為、精度を要する移動や
微調整などに使用出来ます。
本体正面のチルトネジを用いる事で、最大2°までの簡易的な
チルト機構としても使用可能。
蒸着装置、MBE装置等、超高真空領域内での試料等の移動・位置決め操作が
大気側より行えます。
【特長】
■超高真空領域まで使用出来る
■X、Y軸の駆動部にはマイクロメーターヘッドを使用
■1回転当たりの移動量は各々0.5mm
■接続フランジがICF-152のタイプの場合、接続フランジ上部に設置された
6ヶ所の導入ポート(ICF-34FT接続)よりフィールドスルー等の導入が可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報セミ・マニピュレーター『KSM-114-50Z/150Z』
【仕様(抜粋)】
＜KSM-114-50Z＞
■移動距離
・Z軸：0～50mm
・X軸：±12.5mm
・Y軸：±12.5mm
＜KSM-114-150Z＞
■移動距離
・Z軸：0～150mm
・X軸：±12.5mm
・Y軸：±12.5mm
＜共通仕様＞
■許容リーク量：≦1.33×10-11Pa・m3/sec
■許容加熱温度：≦200℃
■移動精度：XY軸 0.01mm以下
■位置決め目盛：XY軸 0.001mm以下
■上部接続フランジ：ICF-70FT
■下部接続フランジ：ICF-114FH
■真空シール稼働部：溶接ベローズSUS-316
■重量：9.0kg(50Z)、9.0kg(150Z)
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| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
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カタログセミ・マニピュレーター『KSM-114-50Z/150Z』
取扱企業セミ・マニピュレーター『KSM-114-50Z/150Z』
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最先端技術の研究開発用精密機器の設計、開発、製造、販売。 ◆真空装置の機器・部品 ◆低温機器類の装置・部品 ◆科学機器 ◆精密部品 これらの設計開発、製作、販売及び引渡し後の保守、修理、改造、移設 【 製品一例 】 ◆真空チャンバー ◆真空部品（フランジ・継手類、他） 《ＰＶＤ／ＣＶＤ装置》 ◆有機ＥＬ材料開発用蒸着装置・機器 ◆有機ＴＦＴ開発用蒸着装置・機器 ◆有機薄膜太陽電池用蒸着装置・機器 ◆有機・金属蒸着セル ◆分子線エピタキシー装置（ＭＢＥ） （化合物半導体・窒化物・酸化物） ◆有機金属気相成長装置（ＣＶＤ） 《表面分析・評価装置》 ◆電界イオン顕微鏡装置（ＦＩＭ） ◆電子エネルギー分析システム（ＣＭＡ） ◆ＴＥＭホルダー（加熱／低温） ◆ＵＨＶレーザー顕微鏡装置 ◆３次元アトムプローブ装置（３ＤＡＰ）
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