当社では、『2軸トランスファーロッド(マグネット型)』を取り扱っています。
マグネットタイプのスライド方式なので、直線移動と回転運動が
同時に行えます。
ご希望に応じ、位置出し用ベロージョイント、任意のストローク・先端加工、
又モーター駆動型等も可能です。
【特長】
■マグネットタイプのスライド方式で直線移動と回転運動が同時に行える
■マグネット方式なので、操作は簡単
■外部との真空封止は完全
■ストッパーにより、任意の位置設定が可能
■超高真空領域までの使用が可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報2軸トランスファーロッド(マグネット型)
【共通仕様】
■駆動方式/Driving Method:マグネット方式/Magnetic Coupling
■許容リーク量/Leak Rate:≦1.33×10-11Pa・m3/sec
■許容加熱温度/Bake out Temperature:≦200℃
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価格情報 | - |
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納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログ2軸トランスファーロッド(マグネット型)
取扱企業2軸トランスファーロッド(マグネット型)
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最先端技術の研究開発用精密機器の設計、開発、製造、販売。 ◆真空装置の機器・部品 ◆低温機器類の装置・部品 ◆科学機器 ◆精密部品 これらの設計開発、製作、販売及び引渡し後の保守、修理、改造、移設 【 製品一例 】 ◆真空チャンバー ◆真空部品(フランジ・継手類、他) 《PVD/CVD装置》 ◆有機EL材料開発用蒸着装置・機器 ◆有機TFT開発用蒸着装置・機器 ◆有機薄膜太陽電池用蒸着装置・機器 ◆有機・金属蒸着セル ◆分子線エピタキシー装置(MBE) (化合物半導体・窒化物・酸化物) ◆有機金属気相成長装置(CVD) 《表面分析・評価装置》 ◆電界イオン顕微鏡装置(FIM) ◆電子エネルギー分析システム(CMA) ◆TEMホルダー(加熱/低温) ◆UHVレーザー顕微鏡装置 ◆3次元アトムプローブ装置(3DAP)
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