有機EL用成膜装置北野精機 | イプロスものづくり

基本情報有機EL用成膜装置

【特徴】
・搬送機構にてマスク及び試料搬送が可能。
・有機材料と金属材料が同じ部屋で成膜可能。
・有機材料と金属材料の共蒸着が可能。
・有機材料共蒸着が可能（最大4元）。
・有機材料と金属材料とのコンタミ防止用水冷ジャケット標準装備。
・蒸着室において、基板とマスクを真空環境下にて各々交換可能。
・基板とマスク間ギャップは最少。
・基板回転機構により面内の膜厚分布平坦性±5％以内。
・有機蒸着セルは指向性に優れており蒸着室内の材料汚染が少ない。
・各処理室は特殊表面処理を施し使用真空環境圧力までの到達が速い。
・グローブボックスと接続可能。
・PLC制御にて自動搬送・自動排気が可能。
・導入室内には基板及びマスクホルダーが標準5枚ストック可能。

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型番・ブランド名	KVD-OLED　Evo.1
用途／実績例	【用途】・有機EL材料開発・高分子材料開発・燐光材料開発・有機薄膜太陽電池開発・有機電子デバイス開発　など

カタログ有機EL用成膜装置

取扱企業有機EL用成膜装置

北野精機株式会社

最先端技術の研究開発用精密機器の設計、開発、製造、販売。 ◆真空装置の機器・部品 ◆低温機器類の装置・部品 ◆科学機器 ◆精密部品これらの設計開発、製作、販売及び引渡し後の保守、修理、改造、移設【製品一例】 ◆真空チャンバー ◆真空部品（フランジ・継手類、他）　《ＰＶＤ／ＣＶＤ装置》 ◆有機ＥＬ材料開発用蒸着装置・機器 ◆有機ＴＦＴ開発用蒸着装置・機器 ◆有機薄膜太陽電池用蒸着装置・機器 ◆有機・金属蒸着セル ◆分子線エピタキシー装置（ＭＢＥ）　（化合物半導体・窒化物・酸化物） ◆有機金属気相成長装置（ＣＶＤ）《表面分析・評価装置》 ◆電界イオン顕微鏡装置（ＦＩＭ） ◆電子エネルギー分析システム（ＣＭＡ） ◆ＴＥＭホルダー（加熱／低温） ◆ＵＨＶレーザー顕微鏡装置 ◆３次元アトムプローブ装置（３ＤＡＰ）