有機材料(有機EL)成膜用の有機蒸着セル(KOD-Cell)が8台、金属材料蒸着の際には、金属蒸着セルが標準装備されます。有機用、金属用と共通して少量サイズのルツボにて構成されており、装置チャンバー内に極力チャンバー汚染をしない事に重点を置いた設計になっております。本システムは、全自動式である為、多種多様な研究が行える多目的研究開発用装置となります。
基本情報有機EL用成膜装置
【特徴】
・有機材料と金属材料とのコンタミ防止用水冷ジャケット標準装備。
・蒸着室内で基板とマスクを真空環境下にて各々交換可能。
・基板とマスク間ギャップは最少。
・基板回転機構により面内の膜厚分布平坦性±5%以内。
・有機蒸着セルは指向性に優れており蒸着室内の材料汚染が少ない。
・各処理室は特殊表面処理を施し使用真空環境圧力までの到達が速い。
・グローブボックスと接続可能。
・導入室内には基板及びマスクホルダーが標準12枚ストック可能。
・PLC制御にて自動搬送・自動排気が可能。
価格情報 | - |
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価格帯 | 5000万円 ~ 1億円 |
納期 | お問い合わせください |
型番・ブランド名 | KVD-OLED Evo.3 |
用途/実績例 | 【用途】 ・有機EL材料開発 ・高分子材料開発 ・燐光材料開発 ・有機薄膜太陽電池開発 ・有機電子デバイス開発 など |
カタログ有機EL用成膜装置
取扱企業有機EL用成膜装置
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最先端技術の研究開発用精密機器の設計、開発、製造、販売。 ◆真空装置の機器・部品 ◆低温機器類の装置・部品 ◆科学機器 ◆精密部品 これらの設計開発、製作、販売及び引渡し後の保守、修理、改造、移設 【 製品一例 】 ◆真空チャンバー ◆真空部品(フランジ・継手類、他) 《PVD/CVD装置》 ◆有機EL材料開発用蒸着装置・機器 ◆有機TFT開発用蒸着装置・機器 ◆有機薄膜太陽電池用蒸着装置・機器 ◆有機・金属蒸着セル ◆分子線エピタキシー装置(MBE) (化合物半導体・窒化物・酸化物) ◆有機金属気相成長装置(CVD) 《表面分析・評価装置》 ◆電界イオン顕微鏡装置(FIM) ◆電子エネルギー分析システム(CMA) ◆TEMホルダー(加熱/低温) ◆UHVレーザー顕微鏡装置 ◆3次元アトムプローブ装置(3DAP)
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