改善成功事例　事例2　金属蒸着セル　KMDW-Cell 北野精機

改善成功事例　事例2　金属蒸着セル　KMDW-Cell

◆◇◆経緯◆◇◆

従来使用している金属蒸着方法は、ボート式であり、金属膜を蒸着する際に、
100A以上もの大電流を印加している。ボート式は、初心者でも容易に蒸着可能であるが、
大電流を使用することで、膜質に悪影響をもたらす要因と考えられる。
また、蒸着の際の飛散量が激しく、チャンバー内のメンテナンスが頻繁に必要となり、
綺麗な環境での使用は困難となっている。

基本情報改善成功事例　事例2　金属蒸着セル　KMDW-Cell

◆◇◆対処法◆◇◆

金属蒸着セル・KMDW-Cellを提案した。この蒸着セルは、ルツボ式であり、
タングステンフィラメントを通電加熱することにより蒸着させる機能を有している。
ルツボ容量は、1ccである為、厚膜作製には向かないが、省スペースに多元設置可能な
設計である。ルツボ構成に、コールドリップ方式を採用している為、
材料加熱による吹きこぼれ・回り込みを低減する効果がある。

◆◇◆結果◆◇◆

本ユニットは、一般な金属蒸着であるボート式に比べ、使用電流は1/10と大幅に減少した。
蒸着レートは、0.1A/s台にて制御可能であり、緻密なコントロールが可能となった。
また、消費電力が1/10と減少したことにより、有機膜へ発熱が及ぼすダメージが
低減可能となった。また、ルツボ方式の為、指向性に優れた設計となり、
メンテナンスが容易となった。

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北野精機株式会社

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