MEMSデバイス製造用エッチング装置
MEMSデバイス製造用エッチング装置 http://www.ipros.jp/data/products/tmp/316769/002/img/mems_debaisuyou_ettinngsouchi.jpg シリコンエッチングだけでなく、同装置内に窒化膜エッチング、 酸化膜エッチングユニットを内蔵した、MEMS製造に最適な装置 【特徴】 ○シリコンエッチングにエッチング面内ばらつきを抑制する  独自の回転処理機構を搭載 ○窒化膜・酸化膜エッチングでは、エッチング処理〜リンス処理まで  自動で行う独自のコンパクトな搬送機を搭載 ○シリコンエッチングでは希望のTMAH濃度にて薬液を作成する  自動秤量システム、処理中のTMAH濃度を一定に保ち安定した  エッチング処理を行える濃度管理システムを搭載(濃度制御 ±0.5wt%) ○窒化膜エッチングには熱リン酸の循環フィルタリング機構(温度制御±0.5℃)  酸化膜エッチングではフッ酸濃度を希望の濃度にて  薬液を作成する自動秤量システムを搭載 ○装置外形寸法 : 3800mm(W)×1800mm(D)×2500mm(H) ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。 瀬戸技研工業株式会社 製造・加工機械 > 半導体製造装置 > エッチング装置 -
  • MEMSデバイス製造用エッチング装置
    瀬戸技研工業株式会社
    シリコンエッチングだけでなく、同装置内に窒化膜エッチング、
    酸化膜エッチングユニットを内蔵した、MEMS製造に最適な装置

    【特徴】
    ○シリコンエッチングにエッチング面内ばらつきを抑制する
     独自の回転処理機構を搭載
    ○窒化膜・酸化膜エッチングでは、エッチング処理〜リンス処理まで
     自動で行う独自のコンパクトな搬送機を搭載
    ○シリコンエッチングでは希望のTMAH濃度にて薬液を作成する
     自動秤量システム、処理中のTMAH濃度を一定に保ち安定した
     エッチング処理を行える濃度管理システムを搭載(濃度制御 ±0.5wt%)
    ○窒化膜エッチングには熱リン酸の循環フィルタリング機構(温度制御±0.5℃)
     酸化膜エッチングではフッ酸濃度を希望の濃度にて
     薬液を作成する自動秤量システムを搭載
    ○装置外形寸法 : 3800mm(W)×1800mm(D)×2500mm(H)

    ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。
  • MEMSデバイス製造用エッチング装置の製品画像です
    MEMSデバイス製造用エッチング装置の製品画像です

基本情報MEMSデバイス製造用エッチング装置

シリコンエッチングだけでなく、同装置内に窒化膜エッチング、
酸化膜エッチングユニットを内蔵した、MEMS製造に最適な装置

【特徴】
○シリコンエッチングにエッチング面内ばらつきを抑制する
 独自の回転処理機構を搭載
○窒化膜・酸化膜エッチングでは、エッチング処理〜リンス処理まで
 自動で行う独自のコンパクトな搬送機を搭載
○シリコンエッチングでは希望のTMAH濃度にて薬液を作成する
 自動秤量システム、処理中のTMAH濃度を一定に保ち安定した
 エッチング処理を行える濃度管理システムを搭載(濃度制御 ±0.5wt%)
○窒化膜エッチングには熱リン酸の循環フィルタリング機構(温度制御±0.5℃)
 酸化膜エッチングではフッ酸濃度を希望の濃度にて
 薬液を作成する自動秤量システムを搭載
○装置外形寸法 : 3800mm(W)×1800mm(D)×2500mm(H)

●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。

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カタログMEMSデバイス製造用エッチング装置

  • シリコンエッチングだけでなく、同装置内に窒化膜エッチング、
    酸化膜エッチングユニットを内蔵した、MEMS製造に最適な装置

    【特徴】
    ○シリコンエッチングにエッチング面内ばらつきを抑制する
     独自の回転処理機構を搭載
    ○窒化膜・酸化膜エッチングでは、エッチング処理〜リンス処理まで
     自動で行う独自のコンパクトな搬送機を搭載
    ○シリコンエッチングでは希望のTMAH濃度にて薬液を作成する
     自動秤量システム、処理中のTMAH濃度を一定に保ち安定した
     エッチング処理を行える濃度管理システムを搭載(濃度制御 ±0.5wt%)
    ○窒化膜エッチングには熱リン酸の循環フィルタリング機構(温度制御±0.5℃)
     酸化膜エッチングではフッ酸濃度を希望の濃度にて
     薬液を作成する自動秤量システムを搭載
    ○装置外形寸法 : 3800mm(W)×1800mm(D)×2500mm(H)

    ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。

取扱会社MEMSデバイス製造用エッチング装置

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