真空蒸着システム　FCVA パーカー熱処理工業

アーク放電を利用して陰極部の物質を蒸発させ、それを表面に蒸着することができる装置です。

アーク蒸着で最も問題になるのは、イオンと一緒に発生されるμmの大きさの
dropletです。

基本情報真空蒸着システム　FCVA

このdropletは薄膜の物性、特に表面の粗度を低下させるようになります。

このシステムはmacro-particleと中性粒子を取り除き、硬度、粗度などの物性を
向上させるものです。

■□■メリット■□■
■Dual bent duct のフィルタリングを通じてのDroplet の除去及び
　Ultra-smooth 表面粗度

■Beam-rastering による広範囲のコーティング

■革新的な電極デザインによるプラズマビームの安定性

■相手材に対する高い接合力

■高い再現性と簡単なメンテナンス

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