高圧ポンプユニット　KPWシリーズ（組込用）テクノメイト

エア圧調整器、エア圧力計、吐出圧力計などが一体となった設計で装置組み込みに好適！低圧から高圧まで調整可能

『KPWシリーズ』は、高圧ポンプに基本的に必要となる周辺機器をセットにして、専用量産装置以外の用途で利用しやすいように整えたユニットです。
エア駆動式プランジャーポンプ内蔵の高圧水発生ユニットでエア圧調整器､エア圧力計､吐出圧力計などが一体となった設計で装置組み込みに適しており、
高圧ジェット洗浄用としてウエハのIPA洗浄や溶剤による剥離等に用います。

【特長】
■小型な組込用ポンプユニット（W194×H190×D490）
■エア供給用電磁弁、エアレギュレーター、圧力計を標準内蔵
■オプションで純水用電磁弁、エア駆動用吐出弁の内蔵、NMP対応シール材を選択可能

※製品の詳細は、下記の「PDFダウンロード」ボタンよりご覧いただけます。
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基本情報高圧ポンプユニット　KPWシリーズ（組込用）

【仕様】
〇サイズ
　・W194×H190×D490
○吐出圧力
　・KPW20 : 0.98~9.8MPa
　・KPW30 : 1.47~14.7MPa
　・KPW37.5 : 1.76~17.6MPa
○吐出流量
　・KPW20 : 1.13L
　・KPW30 : 0.71L
　・KPW37.5 : 0.58L
○駆動エア圧：0.05~0.5MPa
○エア消費量：約70L (ポンプストローク数 60SPM時)
○接液シール
　・純水・IPA ：FKM
　・NMP：カルレッツ

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型番・ブランド名	KPWシリーズ
用途／実績例	【用途】 ■半導体洗浄装置（ジェット洗浄） ■スクラバー装置 ■リフトオフ装置【実績例】試作実験用装置での使用事例