株式会社フェローテックホールディングス 高純度 シリカガラス製品

半導体製造プロセスに不可欠な高純度シリカガラス製品

半導体製造プロセスに不可欠な高温作業に強く
活性ガスとの化学変化を起こさない、高純度のシリカガラス製品

【特徴】
○CVD、拡散用各種炉芯管をはじめさまざまな機器・冶具に最適
○半導体製造工程に必要なあらゆる石英製品をラインナップ
 ・オーバーフロー槽
   薬液処理のウェハー洗浄工程で使用され、
   12インチ対応製品を含め多様なニーズに対応
 ・横型ボート
   ウェハーの洗浄、反応プロセスに使用される石英ボート
 ・縦型プロセスチューブ
   半導体製造工程で最も重要な拡散などの反応プロセスで使用
   12インチウェハーの登場による大口径化にも対応
 ・フィン保温筒
   縦型チューブ下部の断熱に使用
   不透明石英を使用した製品も製造可能

●その他、様々な製品をご用意しております。詳しくはお問合わせ下さい。

基本情報高純度 シリカガラス製品

半導体製造プロセスに不可欠な高温作業に強く
活性ガスとの化学変化を起こさない、高純度のシリカガラス製品

【特徴】
○CVD、拡散用各種炉芯管をはじめさまざまな機器・冶具に最適
○半導体製造工程に必要なあらゆる石英製品をラインナップ
 ・オーバーフロー槽
   薬液処理のウェハー洗浄工程で使用され、
   12インチ対応製品を含め多様なニーズに対応
 ・横型ボート
   ウェハーの洗浄、反応プロセスに使用される石英ボート
 ・縦型プロセスチューブ
   半導体製造工程で最も重要な拡散などの反応プロセスで使用
   12インチウェハーの登場による大口径化にも対応
 ・フィン保温筒
   縦型チューブ下部の断熱に使用
   不透明石英を使用した製品も製造可能

●その他、様々な製品をご用意しております。詳しくはお問合わせ下さい。

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納期 お問い合わせください
用途/実績例 【用途】
○CVD
○拡散用各種炉芯管

取扱企業高純度 シリカガラス製品

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株式会社フェローテックホールディングス

装置関連事業 太陽電池関連事業 電子デバイス事業 【取り扱い製品】 ○真空シール ○石英製品 ○セラミックス製品 ○半導体用シリコンインゴット ○シリコンウェーハ加工 ○シリコン単結晶引上装置 ○シリコン多結晶製造装置 ○角切りソー装置 ○石英るつぼ ○角槽るつぼ ○太陽電池用シリコンインゴット ○太陽電池用ウェート ○サーモモジュール ○磁性流体 ○装置部品洗浄 ○工作機械 ○ソーブレード ○表面処理

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