株式会社フェローテックホールディングス 高純度 シリカガラス製品
- 最終更新日:2017-12-26 17:29:30.0
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半導体製造プロセスに不可欠な高純度シリカガラス製品
半導体製造プロセスに不可欠な高温作業に強く
活性ガスとの化学変化を起こさない、高純度のシリカガラス製品
【特徴】
○CVD、拡散用各種炉芯管をはじめさまざまな機器・冶具に最適
○半導体製造工程に必要なあらゆる石英製品をラインナップ
・オーバーフロー槽
薬液処理のウェハー洗浄工程で使用され、
12インチ対応製品を含め多様なニーズに対応
・横型ボート
ウェハーの洗浄、反応プロセスに使用される石英ボート
・縦型プロセスチューブ
半導体製造工程で最も重要な拡散などの反応プロセスで使用
12インチウェハーの登場による大口径化にも対応
・フィン保温筒
縦型チューブ下部の断熱に使用
不透明石英を使用した製品も製造可能
●その他、様々な製品をご用意しております。詳しくはお問合わせ下さい。
基本情報高純度 シリカガラス製品
半導体製造プロセスに不可欠な高温作業に強く
活性ガスとの化学変化を起こさない、高純度のシリカガラス製品
【特徴】
○CVD、拡散用各種炉芯管をはじめさまざまな機器・冶具に最適
○半導体製造工程に必要なあらゆる石英製品をラインナップ
・オーバーフロー槽
薬液処理のウェハー洗浄工程で使用され、
12インチ対応製品を含め多様なニーズに対応
・横型ボート
ウェハーの洗浄、反応プロセスに使用される石英ボート
・縦型プロセスチューブ
半導体製造工程で最も重要な拡散などの反応プロセスで使用
12インチウェハーの登場による大口径化にも対応
・フィン保温筒
縦型チューブ下部の断熱に使用
不透明石英を使用した製品も製造可能
●その他、様々な製品をご用意しております。詳しくはお問合わせ下さい。
価格情報 | - |
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納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | 【用途】 ○CVD ○拡散用各種炉芯管 |
取扱企業高純度 シリカガラス製品
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