株式会社リバティー EFEM(Equipment Front End Module)

EFEM(Equipment Front End Module) http://www.ipros.jp/data/products/tmp/321301/010/img/efem.jpg 本装置は、2ステーションFOUP/FOSB対応EFEM(Equipment Front End Module)です。 ウエハサイズは、200/300mm(8/12インチ)に対応しています。 スループット: 150wph OCR / 450wph transfer(プロセス除く) 株式会社リバティー 制御・電機機器 > クリーンルーム > その他クリーンルーム用機器・設備 efem -
EFEM(Equipment Front End Module)

本装置は、2ステーションFOUP/FOSB対応EFEM(Equipment Front End Module)です。
ウエハサイズは、200/300mm(8/12インチ)に対応しています。
スループット: 150wph OCR / 450wph transfer(プロセス除く)

基本情報EFEM(Equipment Front End Module)

本装置は、2ステーションFOUP/FOSB対応EFEM(Equipment Front End Module)です。
ウエハサイズは、200/300mm(8/12インチ)に対応しています。
スループット: 150wph OCR / 450wph transfer(プロセス除く)

価格 -
価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
型番・ブランド名 efem
用途/実績例 300mmウエハ対応装置用FOUP開閉及び搬送モジュール
シングルインターフェース対応
RS232Cマルチポート
SEMI S2、S8準拠
特別仕様等ご相談に対応させて頂きます。

取扱企業EFEM(Equipment Front End Module)

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株式会社リバティー

1. 新規装置であるバッチ式プラズマアッシング処理装置、枚葉式プラズマエッチング装置(RIE/DP切替え可)、枚葉式多目的プラズマ処理ユニット、小型プラズマクリーナー、ウエハ搬送装置(ウエハソーター)、EFEM、2次元分光器や表面洗浄度検査装置の販売・サービス。 2. 中古半導体製造装置の販売・サービス及び部品等の販売。 3. お客様のご依頼・ご相談による装置開発、製作等。

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