株式会社リバティー EFEM（Equipment Front End Module）

最終更新日：2009-07-28 17:51:18.0
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EFEM（Equipment Front End Module）

本装置は、2ステーションFOUP/FOSB対応EFEM（Equipment Front End Module）です。
ウエハサイズは、200/300mm（8/12インチ）に対応しています。
スループット：　150wph OCR / 450wph transfer（プロセス除く）

基本情報EFEM（Equipment Front End Module）

価格情報	-
納期	お問い合わせください
型番・ブランド名	efem
用途／実績例	300mmウエハ対応装置用FOUP開閉及び搬送モジュールシングルインターフェース対応 RS232Cマルチポート SEMI S2、S8準拠特別仕様等ご相談に対応させて頂きます。

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取扱企業EFEM（Equipment Front End Module）

株式会社リバティー

1. 新規装置であるバッチ式プラズマアッシング処理装置、枚葉式プラズマエッチング装置（RIE/DP切替え可）、枚葉式多目的プラズマ処理ユニット、小型プラズマクリーナー、ウエハ搬送装置（ウエハソーター）、EFEM、2次元分光器や表面洗浄度検査装置の販売・サービス。 2. 中古半導体製造装置の販売・サービス及び部品等の販売。 3. お客様のご依頼・ご相談による装置開発、製作等。