EFEM(Equipment Front End Module)
本装置は、2ステーションFOUP/FOSB対応EFEM(Equipment Front End Module)です。
ウエハサイズは、200/300mm(8/12インチ)に対応しています。
スループット: 150wph OCR / 450wph transfer(プロセス除く)
基本情報EFEM(Equipment Front End Module)
本装置は、2ステーションFOUP/FOSB対応EFEM(Equipment Front End Module)です。
ウエハサイズは、200/300mm(8/12インチ)に対応しています。
スループット: 150wph OCR / 450wph transfer(プロセス除く)
価格情報 | - |
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納期 | お問い合わせください |
型番・ブランド名 | efem |
用途/実績例 | 300mmウエハ対応装置用FOUP開閉及び搬送モジュール シングルインターフェース対応 RS232Cマルチポート SEMI S2、S8準拠 特別仕様等ご相談に対応させて頂きます。 |
取扱企業EFEM(Equipment Front End Module)
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