PFCガス除害装置「LG3000」
PFCガス除害装置「LG3000」 http://www.ipros.jp/data/products/tmp/325578/001/img/15.jpg 二酸化炭素の1万倍もの地球温暖化係数を示すPFCガスを、プラズマで完全除害します ・半導体プロセスで使われるPFCガスをプラズマ・プロセスにより除害します ・電源とチャンバーが一体化したコンパクトなデザイン ・予備運転の必要なく、ガス導入期に電源オンするシンプル操作 ・AC200V(単相)で動作、皮相電力max3.6kVA RF出力375Wの省エネルギー・  低ランニングコスト <特長> ・温室化ガスを低エネルギーで完全除害! ・アプリケーション・チェンジで、多様な機能を発揮する  軽量・低エネルギー・高性能なプラズマ・プロセス ・ほとんど完全分解できる構造によりパイプロダクト発生も最小限に ・アプリケーション開発によりPFC除害以外の用途にも利用可能 <除害対象ガス> CF4、C2F6、C3F8、C4F8、NF3、CHF3、SF6 株式会社ランドマークテクノロジー 科学・理化学機器 > 理化学機器 > プラズマ発生装置 LG3000 -
  • PFCガスを低エネルギーで完全除害するコンパクト除去装置。
    株式会社ランドマークテクノロジー
    二酸化炭素の1万倍もの地球温暖化係数を示すPFCガスを、プラズマで完全除害します

    ・半導体プロセスで使われるPFCガスをプラズマ・プロセスにより除害します
    ・電源とチャンバーが一体化したコンパクトなデザイン
    ・予備運転の必要なく、ガス導入期に電源オンするシンプル操作
    ・AC200V(単相)で動作、皮相電力max3.6kVA RF出力375Wの省エネルギー・
     低ランニングコスト

    <特長>
    ・温室化ガスを低エネルギーで完全除害!
    ・アプリケーション・チェンジで、多様な機能を発揮する
     軽量・低エネルギー・高性能なプラズマ・プロセス
    ・ほとんど完全分解できる構造によりパイプロダクト発生も最小限に
    ・アプリケーション開発によりPFC除害以外の用途にも利用可能

    <除害対象ガス>
    CF4、C2F6、C3F8、C4F8、NF3、CHF3、SF6
  • PFCガス除害装置「LG3000」の製品画像です
    PFCガス除害装置「LG3000」の製品画像です

基本情報PFCガス除害装置「LG3000」

二酸化炭素の1万倍もの地球温暖化係数を示すPFCガスを、プラズマで完全除害します

・半導体プロセスで使われるPFCガスをプラズマ・プロセスにより除害します
・電源とチャンバーが一体化したコンパクトなデザイン
・予備運転の必要なく、ガス導入期に電源オンするシンプル操作
・AC200V(単相)で動作、皮相電力max3.6kVA RF出力375Wの省エネルギー・
 低ランニングコスト

<特長>
・温室化ガスを低エネルギーで完全除害!
・アプリケーション・チェンジで、多様な機能を発揮する
 軽量・低エネルギー・高性能なプラズマ・プロセス
・ほとんど完全分解できる構造によりパイプロダクト発生も最小限に
・アプリケーション開発によりPFC除害以外の用途にも利用可能

<除害対象ガス>
CF4、C2F6、C3F8、C4F8、NF3、CHF3、SF6

価格

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取扱い中

型番・ブランド名

LG3000

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よく使用される業種

産業用機械、電子部品・半導体、試験・分析・測定

カタログPFCガス除害装置「LG3000」

  • 二酸化炭素の1万倍もの地球温暖化係数を示すPFCガスを、プラズマで完全除害します

    ・半導体プロセスで使われるPFCガスをプラズマ・プロセスにより除害します
    ・電源とチャンバーが一体化したコンパクトなデザイン
    ・予備運転の必要なく、ガス導入期に電源オンするシンプル操作
    ・AC200V(単相)で動作、皮相電力max3.6kVA RF出力375Wの省エネルギー・
     低ランニングコスト

    <特長>
    ・温室化ガスを低エネルギーで完全除害!
    ・アプリケーション・チェンジで、多様な機能を発揮する
     軽量・低エネルギー・高性能なプラズマ・プロセス
    ・ほとんど完全分解できる構造によりパイプロダクト発生も最小限に
    ・アプリケーション開発によりPFC除害以外の用途にも利用可能

    <除害対象ガス>
    CF4、C2F6、C3F8、C4F8、NF3、CHF3、SF6

取扱会社PFCガス除害装置「LG3000」

【プラズマプロセス関連事業】 プラズマプロセスの「料理人」として、 製造現場の多彩な課題に応えていきます。 【3Dグラフィクス関連事業】 見たこともない便利さを、提供する。 3Dの技術が可能にするのは、 人にも地球環境にもやさしい未来です。

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