Nd:YAGレーザパルス蒸着システム
AOVでは、多種多様なお客様のご要望にお応えするために、カスタマイズされた様々な真空製膜装置を取り扱いしております。AOVの取り扱う真空装置は物理気相蒸着(PVD)法と化学気相蒸着(CVD)法に大きく分かれています。
PVD法による装置は、
* PLD(パルスレーザ蒸着)装置
* マグネトロンスパッタ装置
* EB電子ビーム蒸着装置
* イオンビームアシスト(IBAD)蒸着法
に区分され、CVD法による装置と共に各種お取り扱いしております。
高い雰囲気中ガス(酸素、窒素、アルゴン等)下における高温基板加熱技術、高温下における安定した駆動制御機構に特徴があり、ご好評を頂いております。
製品の詳細情報はWebサイトをご覧ください。
基本情報Nd:YAGレーザパルス蒸着システム
高温超伝導・強誘電体・半導体・FPD等様々な分野に薄膜作製技術は応用されています。
PLD(Pulsed Laser Deposition)法はPVD(物理気相蒸着)法として他の手法では行えない材料、条件化で使用できる特長を持っています。
Nd:YAGレーザは装置コストが廉価であること、金属系ターゲット等、集光(エネルギー密度)が必要な場合に適しております。
価格情報 | - |
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納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | 各種民間企業、官公庁 |
取扱企業Nd:YAGレーザパルス蒸着システム
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