日本インテグリス合同会社 ウェハーガード インラインガスフィルター
- 最終更新日:2017-02-21 18:10:20.0
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ウルトラクリーン用途に適した高性能・高品質
超高純度プロセスガスの供給ライン向けにデザインされた高性能ガスフィルターです。
0.003µm以上のガス中の微粒子を99.9999%以上、除去します。
初期清浄度が高い高品質な製品仕上げ。
ガス種、流量に合わせて各種ラインアップしています。
基本情報ウェハーガード インラインガスフィルター
【主な仕様】
材質: フィルターメディア ニッケル、SUS316L、PTFEの3種類
ハウジング SUS316L
接続: VCRまたはSwagelok互換
流量: 14~1500NL/minまで各種
価格情報 | お問い合わせ下さい |
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納期 | お問い合わせください |
型番・ブランド名 | Wafergard® |
用途/実績例 | 半導体、フラットパネルディスプレイ、太陽電池等の真空プロセス装置およびVMB(バルブ・マニホールド・ボックス)。 |
取扱企業ウェハーガード インラインガスフィルター
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液体・ガスの精密ろ過/精製製品:フィルター、ピューリファイヤー、ガス精製システム。 ガスシリンダー製品:イオン注入プロセス用ガスシリンダー。 液体の移送製品:バルブ、継手、サニタリー配管部品、薬液容器・送液システム。 液体の制御/管理製品:ディスペンスシステム、流量コントローラ、流量計、濃度計、溶存酸素濃度計、個数カウント式粒度分布測定器、ゼータ電位測定器、薬液濃度モニタリングシステム。 デバイスの保護/搬送関連製品:ウェーハ/ディスクシッパー、ウェーハ/ディスクキャリア、ウェーハ/レチクルポッド、チップトレー。 特殊材料関連製品:高純度グラファイト、シリコンカーバイト、PVDコーティング(イットリア、アルミナ等)、 PECVDコーティング(シリコン、SiC、DLC等)。 表面処理材料・部材関連製品:CMP後洗浄用薬液、エッチング後洗浄用薬液、ダマシンプロセス用銅めっき液、CMPスラリー、CMP後洗浄用ブラシ、CMP用パッドコンディショナー。 先端成膜材料製品:各種絶縁膜材料、有機金属材料、High-k材料、固体成膜材料容器、液体材料供給システム 上記製品の開発、販売、サービス。
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